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[發(fā)明專利]一種WO3有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201911352145.7 申請(qǐng)日: 2019-12-23
公開(公告)號(hào): CN111039573B 公開(公告)日: 2022-05-24
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 寧洪龍;張觀廣;姚日暉;陳俊龍;符曉;張旭;梁志豪;梁宏富;史沐楊;彭俊彪 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 華南理工大學(xué)
主分類號(hào): C03C17/34 分類號(hào): C03C17/34
代理公司: 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245 代理人: 陳智英
地址: 510640 廣*** 國(guó)省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 wo base sub
【權(quán)利要求書】:

1.一種WO3電致變色薄膜的制備方法,其特征在于:包括以下步驟:

1)采用濃氨水將納米氧化鎢配成前驅(qū)體溶液;

2)將前驅(qū)體溶液滴加至轉(zhuǎn)動(dòng)的襯底上,滴加完后,加大襯底的轉(zhuǎn)速繼續(xù)旋轉(zhuǎn),獲得薄膜;

3)將薄膜進(jìn)行預(yù)退火;

4)將預(yù)退火后的薄膜在空氣氛圍中進(jìn)行快速退火,獲得WO3電致變色薄膜;

所述快速退火是指以40℃/s ~ 50℃/s的升溫速率升溫至200℃ ~ 250℃,保溫30 s~60 s,再以10℃/s ~ 20℃/s的升溫速率繼續(xù)升溫至300℃ ~ 350℃,保溫60 s ~90 s,最后10℃/s ~ 15℃/s的降溫速率降至室溫;

所述預(yù)退火的溫度為110℃ ~ 120℃;

所述轉(zhuǎn)動(dòng)的襯底的轉(zhuǎn)速為1500 rpm ~ 2000 rpm,所述繼續(xù)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速為3000 rpm~4000 rpm;所述前驅(qū)體溶液的pH為11~14;

所述前驅(qū)體溶液滴加的速率為 10 μL/s ~20 μL/s;

所述預(yù)退火的時(shí)間為10~20min;

所述繼續(xù)旋轉(zhuǎn)的時(shí)間為60 s ~ 90 s。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述WO3電致變色薄膜的制備方法,其特征在于:所述前驅(qū)體溶液具體通過(guò)以下步驟得到:

將三氧化鎢與濃氨水混合,攪拌,超聲處理,調(diào)節(jié)pH至11~14,獲得前驅(qū)體溶液。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述WO3電致變色薄膜的制備方法,其特征在于:所述三氧化鎢與濃氨水的質(zhì)量比為1:(3~4);

濃氨水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為22~25%。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述WO3電致變色薄膜的制備方法,其特征在于:所述調(diào)節(jié)pH至11~14是指采用濃氨水調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述WO3電致變色薄膜的制備方法,其特征在于:所述攪拌的時(shí)間為24h ~ 48 h;所述超聲處理的時(shí)間為10 min ~15 min。

6.一種由權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述制備方法得到的WO3電致變色薄膜。

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