[發(fā)明專利]襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911348442.4
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN111508881A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 桑原丈二
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社斯庫林集團(tuán)
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 陳甜甜

本發(fā)明涉及一種襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置。載具搬送機(jī)構(gòu)(51)在2個開啟機(jī)構(gòu)(9、10)的載置臺(13)與多個載具保管架(53)之間搬送載具(C)。多個載具保管架(53)及載具搬送機(jī)構(gòu)(51)分別搭載在第1處理塊(3)之上。因此，也可以不像以往那樣從裝載塊在水平方向上延長地設(shè)置多個載具保管架(53)及載具搬送機(jī)構(gòu)(51)，能夠削減在水平方向上延長的設(shè)置面積。即，能夠減小襯底處理裝置(1)的占據(jù)面積。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種對襯底進(jìn)行處理的襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置。襯底例如可以列舉半導(dǎo)體襯底、FPD(Flat Panel Display，平板顯示器)用襯底、光掩模用襯底、光盤用襯底、磁盤用襯底、陶瓷襯底及太陽電池用襯底等。FPD例如可以列舉液晶顯示裝置、有機(jī)EL(electroluminescence，電致發(fā)光)顯示裝置等。

背景技術(shù)

以往的襯底處理裝置具備襯底處理裝置主體及載具緩沖裝置(存放裝置)(例如參照日本專利特開2011-187796號公報)。襯底處理裝置主體具備裝載塊及處理塊。處理塊在水平方向上與裝載塊連結(jié)。裝載塊內(nèi)置著襯底搬送機(jī)械手。在裝載塊的外壁設(shè)有載具載置臺。載具載置臺供載置能夠收納多個襯底的載具。載具載置臺隔著搬送機(jī)械手設(shè)于處理塊的相反側(cè)。

載具緩沖裝置具備保管載具的多個載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)。載具搬送機(jī)構(gòu)以在多個載具保管架與載具載置臺之間搬送載具的方式構(gòu)成。

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明要解決的問題]

以往的載具緩沖裝置配置為隔著裝載塊處于處理塊的相反側(cè)，即在水平方向上從裝載塊延長到載具載置臺側(cè)。這種以往的載具緩沖裝置有可能導(dǎo)致襯底處理裝置的設(shè)置面積即占據(jù)面積變大。

本發(fā)明是鑒于這種情況完成的，目的在于提供一種能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積的襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明為了達(dá)成這種目的，采用如下構(gòu)成。即，本發(fā)明的對襯底進(jìn)行處理的襯底處理裝置包含以下要素：第1裝載塊，設(shè)有用于載置能夠收納多個襯底的載具的至少1個第1載具載置臺；第1處理塊，在水平方向上與所述第1裝載塊連結(jié)；多個載具保管架，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一個之上，分別保管所述載具；及載具搬送機(jī)構(gòu)，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一個之上，在所述至少1個第1載具載置臺與所述多個載具保管架之間搬送所述載具。

根據(jù)本發(fā)明的襯底處理裝置，載具搬送機(jī)構(gòu)在至少1個第1載具載置臺與多個載具保管架之間搬送載具。多個載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)分別搭載在第1裝載塊及第1處理塊中的至少任一個之上。因此，也可以不從裝載塊在水平方向上延長地設(shè)置多個載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)，能夠削減在水平方向上延長的設(shè)置面積。即，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述第1處理塊包含配置成1列的多個處理塊，所述第1裝載塊在水平方向上與所述多個處理塊中的一端的第1處理塊連結(jié)，所述多個載具保管架搭載在所述第1裝載塊及所述多個處理塊中的至少任一個之上，分別保管所述載具，所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1裝載塊及所述多個處理塊中的至少任一個之上，在所述至少1個第1載具載置臺與所述多個載具保管架之間搬送所述載具。

由此，對于具備配置成1列的多個處理塊的襯底處理裝置，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備第2裝載塊，該第2裝載塊在水平方向上與所述多個處理塊中的另一端的處理塊連結(jié)，且設(shè)有用于載置所述載具的至少1個第2載具載置臺，所述多個載具保管架搭載在所述第1裝載塊、所述多個處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個之上，分別保管所述載具，所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1裝載塊、所述多個處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個之上，在所述至少1個第1載具載置臺、所述多個載具保管架及所述至少1個第2載具載置臺之間搬送所述載具。