[發(fā)明專利]一種用于半導體制造設備的鐘擺閥

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911344982.5
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN110906021A
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設計）人: 金永春
• 申請（專利權）人: 無錫永井電子有限公司
• 主分類號: F16K3/06
• 分類號: F16K3/06;F16K3/10;F16K3/314;F16K31/04
• 代理公司: 南京北辰聯(lián)和知識產權代理有限公司 32350
• 代理人: 王俊

1.一種用于半導體制造設備的鐘擺閥，其特征在于，包括：

閥門本體，其兩端分別連通反應室和真空泵；

振子板，其面積覆蓋所述閥門本體內部的氣體通道，并在第一驅動電機的帶動下進行轉動，從而調節(jié)所述氣體通道的大小；

密封板，其設置在所述振子板的上側，并在密封結構的帶動下在貼緊和釋放所述振子板的兩個狀態(tài)之間移動；

所述密封結構包括：

圓環(huán)本體，在其圓周方向設置有多個貫通的移動槽，每一所述移動槽內設有向旋轉方向延伸形成的傾斜面；

軸輔材，其設置于所述移動槽內，其一端與所述密封板固定，其另一端為卡接于所述傾斜面的卡頭，沿著所述傾斜面升降；

彈性輔材，其設置于所述卡頭的上側；

第二驅動電機，其傳動軸與原動體連接；

其中，所述圓環(huán)本體和所述原動體之間具有用所述原動體的動力旋轉所述圓環(huán)本體的動力傳達部。

2.根據(jù)權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，所述動力傳達部為所述圓環(huán)本體和所述原動體相嚙合的齒輪組。

3.根據(jù)權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，所述動力傳達部為所述圓環(huán)本體和所述原動體之間的傳動帶。

4.根據(jù)權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，所述傾斜面由兩個對稱的限位塊構成，所述限位塊具有向旋轉方向延伸并傾斜的臺階坡面，兩個限位塊的臺階坡面之間具有空隙以容納所述軸輔材，兩個限位塊的臺階坡面支撐著所述軸輔材的卡頭。

5.根據(jù)權利要求1或4所述的鐘擺閥，其特征在于，所述傾斜面向順時針的旋轉方向延伸，并向下傾斜；所述第二驅動電機帶動所述密封結構順時針轉動，所述軸輔材沿著所述傾斜面下降，所述密封板貼緊所述振子板；所述第二驅動電機帶動所述密封結構逆時針轉動，所述軸輔材沿著所述傾斜面上升，所述密封板釋放所述振子板。

6.根據(jù)權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，在所述圓環(huán)本體的圓周方向設置有至少四個對稱的貫通的移動槽。

7.根據(jù)權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，所述彈性輔材為螺旋彈簧。