[發(fā)明專利]一種用于半導體制造設(shè)備的鐘擺閥

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201911344982.5
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN110906021A
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金永春
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫永井電子有限公司
• 主分類號: F16K3/06
• 分類號: F16K3/06;F16K3/10;F16K3/314;F16K31/04
• 代理公司: 南京北辰聯(lián)和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32350
• 代理人: 王俊

本發(fā)明提供了一種用于半導體制造設(shè)備的鐘擺閥，涉及半導體制造設(shè)備領(lǐng)域。包括：閥門本體；用于調(diào)節(jié)氣體通道的振子板，在第一驅(qū)動電機的帶動下進行轉(zhuǎn)動；密封板，設(shè)置在振子板的上側(cè)，并在密封結(jié)構(gòu)的帶動下在貼緊和釋放振子板的兩個狀態(tài)之間移動；密封結(jié)構(gòu)包括：圓環(huán)本體，在其圓周方向設(shè)置有多個貫通的移動槽，每一移動槽內(nèi)設(shè)有向旋轉(zhuǎn)方向延伸形成的傾斜面；軸輔材，一端與密封板固定，另一端為卡接于傾斜面的卡頭，沿著傾斜面升降；彈性輔材，設(shè)置于卡頭的上側(cè)；第二驅(qū)動電機傳動軸與原動體連接；圓環(huán)本體和原動體之間具有用原動體的動力旋轉(zhuǎn)圓環(huán)本體的動力傳達部。本發(fā)明能夠提高反應(yīng)室與泵之間的可靠密封，提高密封動作的響應(yīng)速度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種用于半導體制造設(shè)備的鐘擺閥。

背景技術(shù)

一般在半導體元件的制造工程中，為了給真空反應(yīng)室等需要真空的空間達到真空狀態(tài)，需要連接真空泵去抽吸反應(yīng)室內(nèi)的空氣。在連接上述反應(yīng)室與真空泵的連接管上安裝鐘擺閥，從而開關(guān)連接管，控制真空泵的抽吸狀態(tài)。

如圖1所示，現(xiàn)有半導體設(shè)備用鐘擺閥主要是由安裝在連接反應(yīng)室(未圖示)與真空泵(未圖示)的連接管(未圖示)上的閥門本體1與，安裝在閥門本體1內(nèi)部做振子運動，開關(guān)上述連接管的振子板2與，驅(qū)動振子板2并能正、逆回轉(zhuǎn)的驅(qū)動電機3與，貼緊上述振子板2為了從真空泵側(cè)密封連接管，位于真空泵側(cè)的密封板4與，使密封板4與振子板2緊貼的由空氣壓動作的汽缸5組成。

上述現(xiàn)有半導體設(shè)備用鐘擺錘由驅(qū)動電機3的正、逆旋轉(zhuǎn)使振子板2向左、右進行圓弧運動開關(guān)閥門調(diào)節(jié)氣體量。結(jié)束調(diào)節(jié)氣體量的工程后，為了將閥門完全封閉在振子板2將連接管關(guān)閉時，由空氣壓動作的汽缸5將密封板4向振子板2側(cè)貼緊。

但是，振子板2在反應(yīng)室與泵之間的壓力比動密封板4的空氣壓更大時，密封板4無法移動，存在不能密封連接管的問題。而且用空氣壓移動密封板4，有所需動作時間較長，信賴性下降等問題點。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個目的是要提供一種用于半導體制造設(shè)備的鐘擺閥，提高反應(yīng)室與泵之間的可靠密封，提高密封動作的響應(yīng)速度。

特別地，本發(fā)明提供了一種用于半導體制造設(shè)備的鐘擺閥，包括：

閥門本體，其兩端分別連通反應(yīng)室和真空泵；

振子板，其面積覆蓋所述閥門本體內(nèi)部的氣體通道，并在第一驅(qū)動電機的帶動下進行轉(zhuǎn)動，從而調(diào)節(jié)所述氣體通道的大小；

密封板，其設(shè)置在所述振子板的上側(cè)，并在密封結(jié)構(gòu)的帶動下在貼緊和釋放所述振子板的兩個狀態(tài)之間移動；

所述密封結(jié)構(gòu)包括：

圓環(huán)本體，在其圓周方向設(shè)置有多個貫通的移動槽，每一所述移動槽內(nèi)設(shè)有向旋轉(zhuǎn)方向延伸形成的傾斜面；

軸輔材，其設(shè)置于所述移動槽內(nèi)，其一端與所述密封板固定，其另一端為卡接于所述傾斜面的卡頭，沿著所述傾斜面升降；

彈性輔材，其設(shè)置于所述卡頭的上側(cè)；

第二驅(qū)動電機，其傳動軸與原動體連接；

其中，所述圓環(huán)本體和所述原動體之間具有用所述原動體的動力旋轉(zhuǎn)所述圓環(huán)本體的動力傳達部。

優(yōu)選的，所述動力傳達部為所述圓環(huán)本體和所述原動體相嚙合的齒輪組。

優(yōu)選的，所述動力傳達部為所述圓環(huán)本體和所述原動體之間的傳動帶。

優(yōu)選的，所述傾斜面由兩個對稱的限位塊構(gòu)成，所述限位塊具有向旋轉(zhuǎn)方向延伸并傾斜的臺階坡面，兩個限位塊的臺階坡面之間具有空隙以容納所述軸輔材，兩個限位塊的臺階坡面支撐著所述軸輔材的卡頭。