[發(fā)明專利]一種聚合物及包含其的光刻膠組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911341837.1
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN113087843B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發(fā)明（設計）人: 李青松;劉永祥;劉嵩
• 申請（專利權）人: 北京鼎材科技有限公司
• 主分類號: C08F222/40
• 分類號: C08F222/40;C08F212/14;C08F220/20;C08F220/06;G03F7/027;G03F7/004
• 代理公司: 北京市創(chuàng)世宏景專利商標代理有限責任公司 11493
• 代理人: 崔永華

1.一種聚合物，其特征在于，具有如(I)所示的結構：

其中，R為單鍵或者C1～C12亞烷基；

R₁～R₃各自獨立地選自氫、C1～C12烷基、C3～C12環(huán)烷基或者C6～C18芳基；

R₄為C2～C18亞烷基；

n1為3～15的整數(shù)，n2為3～15的整數(shù)，n3為3～12的整數(shù)，n4為3～13的整數(shù)，m為1～3的整數(shù)。

2.根據(jù)權利要求1所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物的分子量為3000～12000，酸值為50mgKOH/g～130mgKOH/g。

3.根據(jù)權利要求1所述的聚合物，其特征在于，R為單鍵或亞甲基。

4.根據(jù)權利要求1所述的聚合物，其特征在于，R₁為氫、甲基、乙基、正丁基、異丁基、叔丁基、正十二烷基、2-乙基己基、2-羥乙基、癸基、磺酸甲基、苯基或異冰片基。

5.根據(jù)權利要求1所述的聚合物，其特征在于，R₂和/或R₃為甲基或氫，優(yōu)選均為甲基。

6.根據(jù)權利要求1所述的聚合物，其特征在于，R₄為亞乙基。

7.根據(jù)權利要求1所述的聚合物，其特征在于，n1為3～10的整數(shù)，n2為4～12的整數(shù)，n3為3～8的整數(shù)，n4為4～10的整數(shù)。

8.一種光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物包含權利要求1至7中任一項所述的聚合物、堿溶性樹脂、光敏劑、感度調節(jié)劑、交聯(lián)劑、溶劑和助劑。

9.根據(jù)權利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于，以所述光刻膠組合物的總重量為100％，所述光刻膠組合物中各組分的重量含量為：

光敏劑1％-5％；感度調節(jié)劑0.1％-1％；堿溶性樹脂8％-15％；交聯(lián)劑0.1％-2％；溶劑75％-90％；助劑0.01％-0.5％；聚合物0.5％-3％。