[發明專利]一種納米銀線導電膜及其作為觸控傳感器電極層的制作方法

有效

• 申請號: 201911340119.2
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN111028987B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 呂鵬;張梓晗;任小勇;劉威;張運奇
• 申請（專利權）人: 合肥微晶材料科技有限公司
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;H01B13/00
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101
• 代理人: 盧敏

1.一種觸控傳感器電極層的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、設置納米銀線導電膜，所述納米銀線導電膜是在透明襯底上依次設置有第一OC光阻劑層、納米銀線導電層、第二OC光阻劑層和離型膜；利用所述的納米銀線導電膜，以離型膜朝上，使用觸控傳感器電極層所需的掩膜版進行曝光，曝光波長為340～380nm、能量為100～300mJ/cm²、時間30～60s；

所述第一OC光阻劑層和所述第二OC光阻劑層所用OC光阻劑溶液的配方體系包括如下質量百分比的各原料：

所述溶劑是由丁酮、乙酸乙酯和乙二醇按質量比1:1:1混合而成；

步驟2、將曝光后的納米銀線導電膜撕離離型膜后，在濃度為0.6-1.5mol/L的KOH顯影液中浸泡1～3min，使非曝光區域的第一OC光阻劑層和第二OC光阻劑層同時被顯影洗掉，對應區域的中間納米銀線導電層失去支撐同時被洗掉；

步驟3、顯影后，對納米銀線導電膜進行清洗、烘干，曝光區域的第一OC光阻劑層、納米銀線導電層和第二OC光阻劑層被保留，形成電極圖案化的納米銀線導電膜，用于觸控傳感器電極層；

步驟4、對電極圖案化的納米銀線導電膜進行后烘和/或在氮氣保護下進行UV固化，以進一步提高第一OC光阻劑層和第二OC光阻劑層的保護功能，即完成處理。

2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：第一OC光阻劑層的厚度為1.0-1.5μm，所述納米銀線導電層的厚度為100-300nm，所述第二OC光阻劑層的厚度為1.5-2.5μm。

3.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：步驟4中，所述后烘是在120～200℃下烘烤5min。

4.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：步驟4中，所述UV固化是以800～1200mJ/cm²的能量固化5-7min。