[發明專利]一種打線機臺

在審

• 申請號: 201911338273.6
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN111029268A
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 吳政達;黃晗;林正忠;陳彥亨;趙夢波
• 申請（專利權）人: 中芯長電半導體（江陰）有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種打線機臺，適用于晶圓級封裝工藝，其特征在于，所述打線機臺包括：

基座平臺，安裝于操作腔室的底部，用于承載待打線的封裝結構；

圖像采集平臺，安裝于所述操作腔室的頂部，用于向所述封裝結構發出照射光，并在所述照射光的照射下對所述封裝結構表面進行拍攝以獲取灰階度圖像；

控制平臺，安裝于所述操作腔室的外部且電連接于所述圖像采集平臺，用于根據所述圖像采集平臺發送的灰階度圖像對所述封裝結構表面的待打線PAD進行識別、定位，并根據獲取的所述待打線PAD的位置信息產生控制信號；

打線平臺，安裝于所述操作腔室的頂部且電連接于所述控制平臺，用于根據所述控制平臺發送的控制信號進行位置移動以對準所述待打線PAD，并對其進行打線操作。

2.根據權利要求1所述的打線機臺，其特征在于，所述基座平臺包括：安裝于所述操作腔室底部的升降機構，及安裝于所述升降機構上方的承載臺面；其中，所述升降機構受控于所述控制平臺以實現升降操作。

3.根據權利要求2所述的打線機臺，其特征在于，所述基座平臺還包括：安裝于所述承載臺面邊緣的夾持固定件，用以將所述封裝結構固定于所述承載臺面上。

4.根據權利要求1所述的打線機臺，其特征在于，所述圖像采集平臺包括：

移動機構，安裝于所述操作腔室的頂部，受控于所述控制平臺以實現位置移動；

安裝臺面，固定于所述移動機構的下方，用于通過所述移動機構帶動其進行位置移動；

黑白相機，安裝于所述安裝臺面的中心位置，用于對所述封裝結構表面進行拍攝以獲取灰階度圖像；

垂直光源，安裝于所述安裝臺面上且環設于所述黑白相機的外側，用于向所述封裝結構發出垂直照射光；

至少一組斜照光源，安裝于所述安裝臺面上且對稱設于所述垂直光源外側，同時位于所述黑白相機的明視場之外，用于向所述封裝結構發出具有預設傾斜角度的傾斜照射光。

5.根據權利要求4所述的打線機臺，其特征在于，所述預設傾斜角度為35°-65°，其中所述預設傾斜角度為所述傾斜照射光與所述封裝結構上表面之間的夾角。

6.根據權利要求4所述的打線機臺，其特征在于，所述垂直光源由若干單光源構成，所述斜照光源由至少一個單光源構成；在所述斜照光源由多個單光源構成時，多個單光源的排列形狀為環形、多邊形、環形陣列或多邊形陣列。

7.根據權利要求6所述的打線機臺，其特征在于，對稱的兩個所述斜照光源中單光源的數量及排列形狀相同。

8.根據權利要求4、6或7所述的打線機臺，其特征在于，所述垂直光源與所述斜照光源均為單色藍光光源或單色紅光光源。

9.根據權利要求4所述的打線機臺，其特征在于，所述垂直光源與所述封裝結構之間的垂直距離等于所述斜照光源與所述封裝結構之間的垂直距離。

10.根據權利要求1所述的打線機臺，其特征在于，所述打線平臺包括：

運動機構，安裝于所述操作腔室的頂部，受控于所述控制平臺以進行位置移動；

打線機構，固定于所述運動機構的下方，用于通過所述運動機構帶動其進行位置移動以對準所述待打線PAD，并對其進行打線操作。