[發(fā)明專利]內(nèi)筒壁吹掃裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911335218.1
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN113088928A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 向洪春;陳長榮
• 申請（專利權(quán)）人: 上海思擎企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，包括：

反應(yīng)腔室；

進(jìn)氣噴頭，設(shè)置在所述反應(yīng)腔室的頂部，用于朝所述反應(yīng)腔室內(nèi)的托盤上的襯底供給反應(yīng)氣體；

內(nèi)筒，設(shè)置在所述反應(yīng)腔室內(nèi)，位于所述進(jìn)氣噴頭和所述托盤之間；

進(jìn)氣環(huán)，和所述內(nèi)筒的上端連接，且與所述內(nèi)筒的內(nèi)筒壁之間形成有環(huán)形腔以及與所述環(huán)形腔連通的環(huán)形狹縫；

進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的一端和所述進(jìn)氣環(huán)連接，用于給所述環(huán)形腔提供吹掃氣體，所述進(jìn)氣管的另一端伸出所述反應(yīng)腔室。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管至少有3根，均勻分布在所述進(jìn)氣環(huán)上部的同一圓周上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣環(huán)包括本體，所述本體上部開設(shè)有上部孔，所述本體下部開設(shè)有下部孔，所述本體內(nèi)部開設(shè)有橫向孔，所述橫向孔的一端和所述上部孔連通，所述橫向孔的另一端和所述下部孔連通；所述進(jìn)氣管和所述上部孔連接，所述環(huán)形腔和所述下部孔連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述上部孔沿所述本體的中心線方向開設(shè)在所述本體的上部，所述下部孔沿所述本體的中心線方向開設(shè)在所述本體的下部，所述下部孔位于所述上部孔的內(nèi)側(cè)，所述橫向孔沿所述本體的直徑方向開設(shè)在所述本體的內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述橫向孔為盲孔，沿所述本體的直徑方向開設(shè)在所述本體的側(cè)壁，所述橫向孔的外側(cè)設(shè)置有堵頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述本體的上部設(shè)置有導(dǎo)向部，所述導(dǎo)向部的上端和所述進(jìn)氣噴頭接觸連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向部為圓筒薄壁狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述本體的下部設(shè)置有形成部，所述形成部靠近所述內(nèi)筒壁的一側(cè)包括第一環(huán)形面和外圓錐形面，所述外圓錐形面設(shè)置在所述第一環(huán)形面的下端，所述第一環(huán)形面和所述內(nèi)筒壁之間的距離不變，所述外圓錐形面與所述內(nèi)筒壁之間的距離由上到下逐漸遞減從而使所述形成部的下端與所述內(nèi)筒之間形成有所述環(huán)形狹縫。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述形成部靠近所述內(nèi)筒壁的一側(cè)還包括第二環(huán)形面，所述第二環(huán)形面設(shè)置在所述外圓錐形面的下端，所述第二環(huán)形面與所述內(nèi)筒壁之間的距離不變。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的內(nèi)筒壁吹掃裝置，其特征在于，所述形成部遠(yuǎn)離所述內(nèi)筒壁的一側(cè)為內(nèi)圓錐形面，所述內(nèi)圓錐形面與所述內(nèi)筒壁之間的距離由上到下逐漸遞減。