[發(fā)明專利]一種鍍膜管P設(shè)備高頻自動補鍍方法

有效

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• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN110983301B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱浩;吳朋朋;張基勇;萬柳斌;黃秀富;方雯;蔣柱
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113
• 代理人: 周勇

本發(fā)明公開了一種鍍膜管P設(shè)備高頻自動補鍍方法，包括以下步驟：設(shè)備出現(xiàn)高頻，系統(tǒng)控制石墨舟自動跳步離開沉積工藝、并記錄運行過的沉積步驟和時間；高頻石墨舟出舟，進(jìn)行降溫、處理，處理完成后將高頻石墨舟重新放至設(shè)備中；系統(tǒng)識別石墨舟，并控制設(shè)備從跳步處繼續(xù)進(jìn)行未運行的沉積步驟。本發(fā)明通過自動識別補鍍工藝減少人為干涉，極大產(chǎn)能提升；因減少人員干涉，節(jié)省車間工藝人員人力，節(jié)約人力成本；鍍膜段全程自動化識別鍍膜，最大化保證膜色穩(wěn)定，減少膜色異常，確保品質(zhì)穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種鍍膜管P設(shè)備高頻自動補鍍方法。

背景技術(shù)

太陽能是一種最普遍、最清潔和最有潛力的替代能源，太陽能發(fā)電裝置又稱為光伏電池或太陽能電池，其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)，可以將太陽能直接轉(zhuǎn)換成電池。

太陽能電池制作過程，例如常規(guī)的PERC電池的生產(chǎn)工藝；制絨一擴散一刻蝕一鍍M203一鍍背面SiNx一鍍正面SiNx一激光開槽或開孔一絲網(wǎng)印刷一燒結(jié)一測試，此工藝比起原多晶電池工藝鍍膜段增加氧化鋁沉積、背膜沉積，也就是需要兩次鍍膜。

之前在太陽能電池片制造領(lǐng)域PECVD工藝，針對管P機臺出現(xiàn)高頻異常，需要進(jìn)行手動高頻處理流程，手動高頻處理流程如下：(1)高頻時，系統(tǒng)將自動跳步結(jié)束工藝，自動上下料界面三管顯示工藝舟失敗；(2)查看歷史記錄，確定高頻補鍍時間，建立補鍍工藝；(3)高頻舟需要調(diào)整機器狀態(tài)為手動模式，手動將高頻舟放置到滑臺車上并發(fā)送至自動化，并將自動化調(diào)整為手動模式；(4)生產(chǎn)員工檢查完畢之后，從自動化將滑臺上將高頻舟送至主機臺內(nèi)，并從滑臺拉至空管，加載補鍍工藝并運行；(5)恢復(fù)自動化，機臺自動運轉(zhuǎn)。

對于上述手動高頻處理的方法流程，可以很明顯的看出存在的問題：當(dāng)需要進(jìn)行人工手動跳步、手動新建補鍍工藝、手動預(yù)約補鍍工藝時，比較浪費人力，并需要進(jìn)行自動化和手動化得來回切換，容易出現(xiàn)因處理不及時耽誤產(chǎn)量的情況，并且因人員能力差異極易產(chǎn)生補鍍膜色異常情況，造成成本浪費。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種鍍膜管P設(shè)備高頻自動補鍍方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種鍍膜管P設(shè)備高頻自動補鍍方法，包括以下步驟：

設(shè)備出現(xiàn)高頻，系統(tǒng)控制石墨舟自動跳步離開沉積工藝、并記錄運行過的沉積步驟和時間；

高頻石墨舟出舟，進(jìn)行降溫、處理，處理完成后將高頻石墨舟重新放至設(shè)備中；

系統(tǒng)識別石墨舟，并控制設(shè)備從跳步處繼續(xù)進(jìn)行未運行的沉積步驟。

優(yōu)選的，設(shè)備出現(xiàn)高頻，系統(tǒng)控制石墨舟自動跳步離開沉積步驟、并記錄運行過的沉積步驟和時間，具體包括：當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)高頻報警信號，系統(tǒng)控制高頻石墨舟自動跳步離開沉積工藝，并記錄已經(jīng)運行過的沉積步驟、以及沉積時間，隨后運行完后非沉積工藝。

優(yōu)選的，高頻石墨舟出舟，進(jìn)行降溫、處理，處理完成后將高頻石墨舟重新放至設(shè)備中，具體包括：待產(chǎn)生高頻信號的石墨舟出舟后，對石墨舟進(jìn)行自動化順序階梯式降溫，隨后對石墨舟內(nèi)的碎片進(jìn)行處理，處理完成后將此石墨舟發(fā)回主機臺設(shè)備中。

優(yōu)選的，系統(tǒng)識別石墨舟，并控制設(shè)備從跳步處繼續(xù)進(jìn)行未運行的沉積步驟，具體包括：設(shè)備系統(tǒng)在高頻石墨舟發(fā)回主機臺設(shè)備后，進(jìn)行自動識別，識別完成后控制設(shè)備帶動高頻石墨舟從開始處重新運行沉積工藝，之前運行過的沉積步驟和時間自動跳過，直到記錄點的沉積工藝開始進(jìn)行鍍膜，并完成后續(xù)沉積工藝和非沉積工藝。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

1、通過自動識別補鍍工藝減少人為干涉，極大產(chǎn)能提升；

2、因減少人員干涉，節(jié)省車間工藝人員人力，節(jié)約人力成本；