[發明專利]一種鍍膜管P設備高頻自動補鍍方法

有效

• 申請號: 201911333546.8
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN110983301B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 朱浩;吳朋朋;張基勇;萬柳斌;黃秀富;方雯;蔣柱
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 周勇

1.一種鍍膜管P設備高頻自動補鍍方法，其特征在于，包括以下步驟：

設備出現高頻，系統控制石墨舟自動跳步離開沉積工藝、并記錄運行過的沉積步驟和時間；

高頻石墨舟出舟，進行降溫、處理，處理完成后將高頻石墨舟重新放至設備中；當高頻石墨舟完成了后續的非沉積工藝后，石墨舟自動完成出舟操作，此時該高頻石墨舟自動落入槳上，并且設備系統控制對該高頻石墨舟的外框進行紅色信號標記，以便后續對該高頻石墨舟進行識別，隨后對該高頻石墨舟進行自動化順序階梯式降溫，降溫后通過自動化設備進行傳輸，隨后對石墨舟內的碎片進行處理，剔除舟內的碎片，待處理完成后將此高頻石墨舟通過自動化發回主機臺設備中，并且同時向主機臺設備的系統發送該高頻石墨舟的高頻信號，實現該高頻石墨舟的重新進管，進行補鍍工藝；

系統識別石墨舟，并控制設備從跳步處繼續進行未運行的沉積步驟；設備系統在高頻石墨舟發回主機臺設備后，進行自動識別，識別完成后控制設備帶動高頻石墨舟從開始處重新運行沉積工藝，之前運行過的沉積步驟和時間自動跳過，直到記錄點的沉積工藝開始進行鍍膜，并完成后續沉積工藝和非沉積工藝。

2.根據權利要求1所述的一種鍍膜管P設備高頻自動補鍍方法，其特征在于，設備出現高頻，系統控制石墨舟自動跳步離開沉積步驟、并記錄運行過的沉積步驟和時間，具體包括：當設備出現高頻報警信號，系統控制高頻石墨舟自動跳步離開沉積工藝，并記錄已經運行過的沉積步驟、以及沉積時間，隨后運行完之后的非沉積工藝。