[發(fā)明專利]晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911332456.7
• 申請(qǐng)日: 2019-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111261551A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王振榮;劉紅兵;盧鵬;凌嘉偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;C25D21/02
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽，包括電鍍用槽體以及循環(huán)加熱機(jī)構(gòu)，所述電鍍用槽體外四周設(shè)有加熱外槽，所述電鍍用槽體與所述加熱外槽之間相互間隔以形成水浴加熱空間，所述循環(huán)加熱機(jī)構(gòu)連通于所述電鍍用槽體，所述加熱外槽由外界向所述水浴加熱空間內(nèi)通入加熱水，所述加熱水的溫度高于所述電鍍用槽體內(nèi)藥液的溫度。本發(fā)明所提供的晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)明，方便操作，通過(guò)在現(xiàn)有的電鍍用槽體外加設(shè)加熱外槽，以形成水浴加熱形式，可全方位地對(duì)電鍍用槽體內(nèi)的藥液進(jìn)行加熱。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽。

背景技術(shù)

目前，用于電鍍槽內(nèi)藥液加熱的現(xiàn)有做法有：a.通過(guò)加熱棒對(duì)電鍍用槽體(或清洗槽) 內(nèi)進(jìn)行藥液加熱；b.也有通過(guò)外接管道/路對(duì)電鍍用槽體(或清洗槽)在線藥液加熱；c.再有就是通過(guò)熱水包圍電鍍用槽體(或清洗槽)來(lái)進(jìn)行藥液加熱，或稱水浴加熱。

對(duì)于a方式，存在加熱不均勻，可能影響藥液效果的缺陷；對(duì)于b方式，其加熱效果沒(méi)有c方式來(lái)的速度，且外接管路布設(shè)較為繁瑣；

而對(duì)于(水域加熱)c方式，被較少應(yīng)用，通常，應(yīng)用于清洗的藥水可能達(dá)到80℃高溫，就需要外部包圍的水溫度更高，這就需要更大的壓力來(lái)維持，需要更高強(qiáng)度的槽體來(lái)實(shí)現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽，包括電鍍用槽體以及循環(huán)加熱機(jī)構(gòu)，所述電鍍用槽體外四周設(shè)有加熱外槽，所述電鍍用槽體與所述加熱外槽之間相互間隔以形成水浴加熱空間，所述循環(huán)加熱機(jī)構(gòu)連通于所述電鍍用槽體，所述加熱外槽由外界向所述水浴加熱空間內(nèi)通入加熱水，所述加熱水的溫度高于所述電鍍用槽體內(nèi)藥液的溫度。

優(yōu)選地，所述加熱外槽與所述電鍍用槽體相互隔斷，所述加熱外槽的側(cè)壁上設(shè)有外接進(jìn)水口以及外接出水口以供與外界供水加熱裝置連通。

優(yōu)選地，所述電鍍用槽體的外壁與所述加熱外槽的內(nèi)壁之間設(shè)有加強(qiáng)支撐結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述加強(qiáng)支撐結(jié)構(gòu)包括均勻排布于所述電鍍用槽體側(cè)壁及底面的多個(gè)加強(qiáng)肋。

優(yōu)選地，所述加強(qiáng)支撐結(jié)構(gòu)包括透水加強(qiáng)板，所述透水加強(qiáng)板圍設(shè)于所述所述加強(qiáng)肋外，所述外接進(jìn)水口以及所述外接出水口分別通過(guò)管路穿過(guò)所述加熱外槽并連通于所述透水加強(qiáng)板，所述透水加強(qiáng)板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)均勻排布的透水孔以供與所述加熱外槽連通。

優(yōu)選地，所述電鍍用槽體的外壁上沿圍設(shè)有外緣蓋體，所述外緣蓋體與所述電鍍用槽體的外壁之間設(shè)有所述加強(qiáng)肋。

優(yōu)選地，所述電鍍用槽體與所述外緣蓋體的頂面封閉連接，所述加熱外槽的頂端封閉連接于所述外緣蓋體的底面。

優(yōu)選地，所述電鍍用槽體的頂部敞開(kāi)且設(shè)有可活動(dòng)打開(kāi)的蓋板機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述蓋板機(jī)構(gòu)包括安裝框，所述外緣蓋體的頂部敞開(kāi)，所述安裝框安裝于所述外緣蓋體上，所述安裝框上設(shè)有通過(guò)鉸鏈結(jié)構(gòu)或連桿結(jié)構(gòu)自動(dòng)打開(kāi)的多個(gè)蓋板。

優(yōu)選地，所述鉸鏈結(jié)構(gòu)或所述連桿結(jié)構(gòu)上安裝有機(jī)械手并通過(guò)所述機(jī)械手進(jìn)行自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而控制所述蓋板的啟閉。

優(yōu)選地，所述電鍍用槽體上分別設(shè)有進(jìn)液口以及出液口，所述電鍍用槽體的內(nèi)部設(shè)有隔板進(jìn)而形成相互連通的進(jìn)液內(nèi)腔以及出液內(nèi)腔，所述進(jìn)液口連通于所述進(jìn)液內(nèi)腔，所述出液口連通于所述出液內(nèi)腔。

優(yōu)選地，所述循環(huán)加熱機(jī)構(gòu)通過(guò)連接管分別連通于所述進(jìn)液口以及所述出液口，所述循環(huán)加熱機(jī)構(gòu)包括相互連通的加熱泵以及過(guò)濾器，所述加熱泵連通于所述出液口，所述過(guò)濾器連通于所述進(jìn)液口。

本發(fā)明晶圓濕制程設(shè)備用恒溫加熱槽的有益效果包括：