[發明專利]晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽

在審

• 申請號: 201911332456.7
• 申請日: 2019-12-22
• 公開（公告）號: CN111261551A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 王振榮;劉紅兵;盧鵬;凌嘉偉
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C25D21/02
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.一種晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，包括電鍍用槽體以及循環加熱機構，所述電鍍用槽體外四周設有加熱外槽，所述電鍍用槽體與所述加熱外槽之間相互間隔以形成水浴加熱空間，所述循環加熱機構連通于所述電鍍用槽體，所述加熱外槽由外界向所述水浴加熱空間內通入加熱水，所述加熱水的溫度高于所述電鍍用槽體內藥液的溫度。

2.根據權利要求1所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述加熱外槽與所述電鍍用槽體相互隔斷，所述加熱外槽的側壁上設有外接進水口以及外接出水口以供與外界供水加熱裝置連通。

3.根據權利要求2所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述電鍍用槽體的外壁與所述加熱外槽的內壁之間設有加強支撐結構。

4.根據權利要求3所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述加強支撐結構包括透水加強板，所述透水加強板圍設于所述所述加強肋外，所述外接進水口以及所述外接出水口分別通過管路穿過所述加熱外槽并連通于所述透水加強板，所述透水加強板上開設有多個均勻排布的透水孔以供與所述加熱外槽連通。

5.根據權利要求3所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述加強支撐結構包括均勻排布于所述電鍍用槽體側壁及底面的多個加強肋；所述電鍍用槽體的外壁上沿圍設有外緣蓋體，所述外緣蓋體與所述電鍍用槽體的外壁之間設有所述加強肋。

6.根據權利要求5所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述電鍍用槽體與所述外緣蓋體的頂面封閉連接，所述加熱外槽的頂端封閉連接于所述外緣蓋體的底面。

7.根據權利要求6所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述電鍍用槽體的頂部敞開且設有可活動打開的蓋板機構。

8.根據權利要求7所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述蓋板機構包括安裝框，所述外緣蓋體的頂部敞開，所述安裝框安裝于所述外緣蓋體上，所述安裝框上設有通過鉸鏈結構或連桿結構自動打開的多個蓋板；所述鉸鏈結構或所述連桿結構上安裝有機械手并通過所述機械手進行自動轉動進而控制所述蓋板的啟閉。

9.根據權利要求1至8任一所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述電鍍用槽體上分別設有進液口以及出液口，所述電鍍用槽體的內部設有隔板進而形成相互連通的進液內腔以及出液內腔，所述進液口連通于所述進液內腔，所述出液口連通于所述出液內腔。

10.根據權利要求9所述的晶圓濕制程設備用恒溫加熱槽，其特征在于，所述循環加熱機構通過連接管分別連通于所述進液口以及所述出液口，所述循環加熱機構包括相互連通的加熱泵以及過濾器，所述加熱泵連通于所述出液口，所述過濾器連通于所述進液口。