[發(fā)明專利]一種光刻用多功能石英載體及其加工工藝

在審

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• 申請日: 2019-12-21
• 公開（公告）號: CN111128816A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設計）人: 張忠恕;王連連;趙鶴;陳強;于洋;馮繼瑤;張娟;邊占寧;孫云濤;李寶軍;張連興;王建立
• 申請（專利權）人: 張忠恕
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;C03B20/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：該石英載體包括內缸與外缸，所述內缸與外缸固定焊接為一體，所述內缸尺寸小于外缸，內缸與外缸之間形成封閉夾層，所述內缸包括第一內側板(1)、第二內側板(2)、第三內側板(3)、第四內側板(4)、內底板(5)，所述第一內側板(1)、第二內側板(2)、第三內側板(3)、第四內側板(4)與所述內底板(5)固定焊接為一體；

所述外缸包括第一外側板(6)、第二外側板(7)、第三外側板(8)、外底板(9)，所述第一外側板(6)設置兩個，且兩個第一外側板(6)與第二外側板(7)、第三外側板(8)及外底板(9)固定焊接為一體；

位于所述內缸上固定焊接有法蘭(10)，所述外底板(9)與法蘭(10)之間固定焊接有支撐塊(11)，所述支撐塊(11)至少設置6個，且大小不同。

2.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述內底板(5)上固定對稱設有石英釘(12)。

3.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述第一內側板(1)上固定對稱開有上、下兩個矩形通槽，所述上矩形通槽內固定焊接第一打孔板(13)，所述下矩形通槽內固定焊接有第二打孔板(14)。

4.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：位于所述第一內側板(1)、第二內側板(2)底部固定開有圓弧通孔，所述圓弧通孔與第一導流管(16)及第二導流管(17)固定焊接為一體；

所述第一導流管(16)為L型，由第一導流分管(161)與第二導流分管(162)固定焊接為一體，所述第二導流分管(162)上固定開有若干通孔；

所述第二導流管(17)為框型結構，由第三導流分管(171)與第四導流分管(172)固定焊接為一體，所述第一導流分管(172)上固定開有若干通孔。

5.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述法蘭(10)由若干個大小不同的法蘭板拼焊而成，所述法蘭(10)上固定開有兩個通孔與外底板(9)上的通孔位于同一中軸線上，所述通孔內穿插固定焊接有第一通氣管(18)與第二通氣管(19)；

所述第一通氣管(18)與第二通氣管(19)位于內缸外側；

所述第一通氣管(18)穿過所述外底板(9)上的通孔延伸至內缸與外缸之間形成的封閉夾層內，所述第二通氣管(19)延伸與所述外底板(9)底面并與外底板(9)相通。

6.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述所述第一內側板(1)、第二內側板(2)、第三內側板(3)、第四內側板(4)四邊連接處固定焊接有石英塊(20)，所述石英塊(20)兩側單邊倒角。

7.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述第一內側板(1)、第二內側板(2)、第三內側板(3)、第四內側板(4)上端固定開有若干圓弧槽孔；

所述第一內側板(1)、第二內側板(2)底邊固定設有傾斜角；

所述第三內側板(3)上固定開有沿口，所述沿口與內底板(5)上的沿口相配合。

8.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述第一外側板(6)設置有兩個，且第一外側板(6)底邊固定設有傾斜角。

9.根據權利要求1所述的一種光刻用多功能石英載體，其特征在于：所述第一打孔板(13)與第二打孔板(14)上固定開有通孔，且第一打孔板(13)尺寸大于第二打孔板(14)尺寸。

10.根據權利要求1-9所述的一種光刻用多功能石英載體的加工工藝，其特征在于，加工工藝如下：

1)整體下料各個零部件，通過2％HF浸泡,純水清洗；

2)法蘭通過充分退火，恒溫120分鐘，倒角；

3)導流管通過2％HF浸泡,純水清洗，封頭-接管(車床退火)(注意加工后管口做齊口處理)，通過2％HF浸泡,純水清洗，打孔，充分退火，恒溫120分鐘；

3)打孔板通過2％HF浸泡,純水清洗，充分退火，恒溫120分鐘，倒角；

4)機械加工切割通氣管；

5)石英塊通過2％HF浸泡,純水清洗，充分退火，恒溫120分鐘，加工螺紋孔，倒角；

6)支撐塊通過2％HF浸泡,純水清洗，充分退火，恒溫120分鐘，倒角；

7)石英釘車螺紋孔

8)組裝內側缸體-外側法蘭，充分退火，恒溫120分鐘，在通過2％HF浸泡,純水清洗；

9)組裝，輔焊法蘭、通氣管、導流管，充分退火，恒溫120分鐘，2％HF浸泡,純水清洗；

10)整體拋光，充分退火，恒溫120分鐘，先檢驗應力，然后檢驗外觀，最后根據成品圖檢驗尺寸，最終洗凈-干燥-內包裝。