[發明專利]一種密齒立式石英舟

在審

• 申請號: 201911331289.4
• 申請日: 2019-12-21
• 公開（公告）號: CN110957248A
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 張忠恕;王連連;趙鶴;陳強;于洋;馮繼瑤;張娟;邊占寧;孫云濤;李寶軍;張連興;王建立
• 申請（專利權）人: 張忠恕
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種密齒立式石英舟，包括第一端板、第二端板、上開槽棒、下開槽棒、固定柱、連接板、定位孔，所述第一端板與第一端板之間焊接有上開槽棒、下開槽棒，所述上開槽棒、下開槽棒兩側固定焊接有固定柱與第一端板、第一端板固定焊接，所述固定柱位于第一端板、第一端板兩側，所述上開槽棒、下開槽棒上固定焊接有連接板，所述第一端板上開有120度的豁口，豁口深度4?5mm，所述第二端板一側開有定位孔，所述定位孔下固定開有通孔，通孔為腰型孔結構，所述通孔與定位孔垂直，且相互貫通。

技術領域

本發明涉及爐管設備技術領域，具體涉及一種密齒立式石英舟。

背景技術

現有的舟體槽部窄而且淺，一般石英舟槽深15-20mm，硅片利用率較低，且原有舟槽粘板方法方式進行，粘板時間長，蠟化，從而產生的破損掉槽現象的可能性大，操作繁瑣，且浪費人力資源，同時采用粘板方法操作舟槽部拋光難度大。為此本申請人經過長時間的實踐研發出一種新的石英舟以此來滿足使用的需要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種密齒立式石英舟，以解決上述背景技術中提出的問題。

本發明的目的是通過下述技術方案予以實現：一種密齒立式石英舟，包括第一端板、第二端板、上開槽棒、下開槽棒、固定柱、連接板、定位孔，所述第一端板與第一端板之間焊接有上開槽棒、下開槽棒，所述上開槽棒、下開槽棒兩側固定焊接有固定柱與第一端板、第一端板固定焊接，所述固定柱位于第一端板、第一端板兩側，所述上開槽棒、下開槽棒上固定焊接有連接板，所述第一端板上開有120度的豁口，豁口深度4-5mm；

所述第二端板一側開有定位孔，所述定位孔下固定開有通孔，通孔為腰型孔結構，所述通孔與定位孔垂直，且相互貫通。

進一步地，所述連接板呈弧形，且連接板位于上開槽棒、下開槽棒上間隔設置兩組，為相互平行設置。

進一步地，所述上開槽棒寬度小于下開槽棒，且上開槽棒與第一端板、第二端板端面平行設置。

進一步地，所述下開槽棒設置兩個，且位于第一端板、第二端板之間相互對稱設置。

進一步地，所述下開槽棒位于第一端板、第二端板之間傾斜設置，所述下開槽棒與第一端板、第二端板中心垂直夾角為35-45度。

進一步地，所述上開槽棒、下開槽棒上設置若干插槽，且插槽間距為8-9mm，所述上開槽棒、下開槽棒左右兩端固定有焊接端頭與第一端板、第二端板固定連接。

進一步地，所述上開槽棒、下開槽棒兩側對稱的固定柱相鄰之間的夾角為78度。

進一步地，所述所述上開槽棒、下開槽棒上設置的插槽深度為80mm。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：該發明舟槽利用專用治具裝卡，研發成現在槽片全拋光，可減少顆粒，保證槽部無碎崩口，槽部圓滑光潔，減少了尖角與硅片產生的摩擦，從而減少硅片產生顆粒。舟槽槽深度增加，使用時可使硅片利用率增加1倍以上。

附圖說明

圖1是本發明整體示意圖；

圖2是本發明側視圖；

圖3是本發明連接板示意圖；

圖4是本發明上開槽棒示意圖；

圖5是本發明下開槽棒示意圖；

圖6是本發明第一端板示意圖；

圖7是本發明第二端板剖視圖。

具體實施方式