[發明專利]一種密齒立式石英舟

在審

• 申請號: 201911331289.4
• 申請日: 2019-12-21
• 公開（公告）號: CN110957248A
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 張忠恕;王連連;趙鶴;陳強;于洋;馮繼瑤;張娟;邊占寧;孫云濤;李寶軍;張連興;王建立
• 申請（專利權）人: 張忠恕
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種密齒立式石英舟，其特征在于：包括第一端板(1)、第二端板(2)、上開槽棒(3)、下開槽棒(4)、固定柱(5)、連接板(6)、定位孔(7)，所述第一端板(1)與第一端板(2)之間焊接有上開槽棒(3)、下開槽棒(4)，所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)兩側固定焊接有固定柱(5)與第一端板(1)、第一端板(2)固定焊接，所述固定柱(5)位于第一端板(1)、第一端板(2)兩側，所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)上固定焊接有連接板(6)，所述第一端板(1)上開有120度的豁口，豁口深度4-5mm；

所述第二端板(2)一側開有定位孔(7)，所述定位孔(7)下固定開有通孔，通孔為腰型孔結構，所述通孔與定位孔(7)垂直，且相互貫通。

2.根據權利要求1所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述連接板(6)呈弧形，且連接板(6)位于上開槽棒(3)、下開槽棒(4)上間隔設置兩組，為相互平行設置。

3.根據權利要求1所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述上開槽棒(3)寬度小于下開槽棒(4)，且上開槽棒(3)與第一端板(1)、第二端板(2)端面平行設置。

4.根據權利要求1所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述下開槽棒(4)設置兩個，且位于第一端板(1)、第二端板(2)之間相互對稱設置。

5.根據權利要求1所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述下開槽棒(4)位于第一端板(1)、第二端板(2)之間傾斜設置，所述下開槽棒(4)與第一端板(1)、第二端板(2)中心垂直夾角為35-45度。

6.根據權利要求1所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)上設置若干插槽，且插槽間距為8-9mm，所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)左右兩端固定有焊接端頭與第一端板(1)、第二端板(2)固定連接。

7.根據權利要求1所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)兩側對稱的固定柱(5)相鄰之間的夾角為78度。

8.根據權利要求6所述的一種密齒立式石英舟，其特征在于：所述所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)上設置的插槽深度為80mm。