[發(fā)明專利]一種多層級(jí)立式石英舟及其加工工藝

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911331278.6
• 申請(qǐng)日: 2019-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN111106049A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張忠恕;王連連;趙鶴;陳強(qiáng);于洋;馮繼瑤;張娟;邊占寧;孫云濤;李寶軍;張連興;王建立
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張忠恕
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;C03C15/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種多層級(jí)立式石英舟，其特征在于：包括上端板(1)、下端板(2)、上開槽棒(3)、下開槽棒(4)、第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)、第一石英釘(7)、第二石英釘(8)，所述所述上端板(1)與下端板(2)之間焊接有上開槽棒(3)、下開槽棒(4)，所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)外圍固定焊接有固定柱(9)與上端板(1)與下端板(2)固定焊接，所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)內(nèi)設(shè)置有第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)，所述第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)上通過(guò)粘接固定連接有第一石英釘(7)、第二石英釘(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多層級(jí)立式石英舟，其特征在于：所述第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)結(jié)構(gòu)相同，且在第一環(huán)片(5)上固定對(duì)稱粘接有第一石英釘(7)，所述第二環(huán)片(6)上固定對(duì)稱粘接有第二石英釘(8)，所述第一石英釘(7)長(zhǎng)度小于第二石英釘(8)長(zhǎng)度3-5mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多層級(jí)立式石英舟，其特征在于：位于所述上開槽棒(3)所在位置的左右對(duì)稱開有兩個(gè)上圓弧槽，位于所述下開槽棒(4)所在位置開有一個(gè)下圓弧槽，所述上下圓弧槽大小相同，且位于下圓弧槽與上圓弧槽之間左右對(duì)稱開有小弧槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多層級(jí)立式石英舟，其特征在于：所述上端板(1)、下端板(2)上的上、下、左象限點(diǎn)位置均開有圓弧，所述上、下象限點(diǎn)位置的圓弧向外，左象限點(diǎn)位置開有的圓弧向內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多層級(jí)立式石英舟，其特征在于：所述下端板(2)上開有內(nèi)口，所述內(nèi)口上下象限點(diǎn)位置固定對(duì)稱開有弧口，所述弧口角度100度；

所述下端板(2)上弧口邊沿固定設(shè)有3個(gè)帶有半圓的弧形平臺(tái)階槽；

所述下端板(2)上內(nèi)口邊沿位于下象限點(diǎn)位置的弧口與弧形平臺(tái)階槽之間固定開有呈坡角的弧形坡角臺(tái)階槽，所述坡角為20度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多層級(jí)立式石英舟，其特征在于：所述上開槽棒(3)、下開槽棒(4)上開有若干大小相同凹槽，且上開槽棒(3)寬度大于下開槽棒(4)寬度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的一種多層級(jí)立式石英舟的加工工藝，其特征在于，包括如下加工步驟：

1)第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)經(jīng)過(guò)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，激光切割，充分退火，恒溫120分鐘，

2)磨削厚度，尖角倒鈍C\R0.5，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗；

3)火拋環(huán)片內(nèi)外側(cè)面區(qū)域，充分退火，恒溫120分鐘；通過(guò)冷拋機(jī)進(jìn)行雙面冷拋；

4)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，粘釘前將釘拋亮，整體火拋，充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，備用；

5)磨削第一石英釘(7)、第二石英釘(8)，經(jīng)過(guò)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，備用；

6)磨削上端板(1)、下端板(2)兩側(cè)平面，厚度保證尺寸，經(jīng)過(guò)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，整體火拋，充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，備用；

7)上開槽棒(3)、下開槽棒(4)按要求開槽并倒角，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，槽部火拋，保證槽部不變形，后充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，備用；

8)上端板(1)、下端板(2)、上開槽棒(3)、下開槽棒(4)、第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)、第一石英釘(7)、第二石英釘(8)拼裝前，經(jīng)過(guò)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗；

9)通過(guò)點(diǎn)焊方式組裝上端板(1)、下端板(2)與上開槽棒(3)、下開槽棒(4)，經(jīng)過(guò)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，檢測(cè)合格后，封焊焊口，立式爐充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗；

10)舟架整體拋光，立式爐充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，根據(jù)配件圖檢驗(yàn)尺寸與外觀；

11)點(diǎn)焊組裝第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)，通過(guò)立式爐充分退火，恒溫120分鐘，氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，點(diǎn)焊調(diào)整第一環(huán)片(5)、第二環(huán)片(6)；

12)通過(guò)臥式爐充分退火，恒溫120分鐘，后經(jīng)過(guò)氫氟酸浸泡1-2小時(shí)，純水沖洗，烘干整體包裝。