[發(fā)明專(zhuān)利]蒸發(fā)源噴嘴

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911325298.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113005408A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 軒景泉;錢(qián)海濤;林文晶;馬曉宇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 馮偉

本申請(qǐng)涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸發(fā)源噴嘴。該蒸發(fā)源噴嘴包括噴嘴本體，所述噴嘴本體包括用于使蒸發(fā)材料流通的通道；內(nèi)套，所述內(nèi)套和所述通道的內(nèi)壁之間設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)組件，至少部分所述內(nèi)套通過(guò)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述通道內(nèi)。本申請(qǐng)?zhí)峁┑恼舭l(fā)源噴嘴的至少部分內(nèi)套通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)組件可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于通道內(nèi)，如此有利于附著在內(nèi)套上的冷凝材料蒸發(fā)或回落至坩堝，從而降低了蒸發(fā)材料冷凝后會(huì)堵塞噴嘴的可能性，提高了蒸鍍的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸發(fā)源噴嘴。

背景技術(shù)

在OLED的制備工藝中，其中關(guān)鍵技術(shù)便是蒸鍍工藝。在蒸鍍工藝中，將有機(jī)材料放置在坩堝中進(jìn)行加熱，有機(jī)材料蒸發(fā)，蒸發(fā)材料通過(guò)噴嘴噴出，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)基材的蒸鍍。

但是，現(xiàn)有的蒸發(fā)源噴嘴容易被冷凝的有機(jī)材料堵塞，且堵塞的有機(jī)材料不易被清洗，從而造成蒸發(fā)源的蒸鍍質(zhì)量下降。

因此，目前亟待需要一種蒸發(fā)源噴嘴來(lái)解決上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N蒸發(fā)源噴嘴，以降低蒸發(fā)材料冷凝后會(huì)堵塞噴嘴的可能性，從而提高蒸鍍質(zhì)量。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種蒸發(fā)源噴嘴，包括：

噴嘴本體，所述噴嘴本體包括用于使蒸發(fā)材料流通的通道；

內(nèi)套，所述內(nèi)套和所述通道的內(nèi)壁之間設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)組件，至少部分所述內(nèi)套通過(guò)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述通道內(nèi)。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述通道沿出料方向依次包括第一通道、第二通道和第三通道，所述內(nèi)套沿出料方向依次包括第一內(nèi)套、第二內(nèi)套和第三內(nèi)套，所述第一內(nèi)套設(shè)置于所述第一通道內(nèi)，所述第二內(nèi)套設(shè)置于所述第二通道內(nèi)，所述第三內(nèi)套設(shè)置于所述第三通道內(nèi)；

所述第一通道、所述第二通道和所述第三通道中的至少一者設(shè)置有所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括設(shè)置于所述第三通道內(nèi)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述第三通道沿出料方向的直徑逐漸減小，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括設(shè)置于所述第三通道的出料口的第一軸承和設(shè)置于所述第三通道的進(jìn)料口的第二軸承；

所述第一軸承和所述第二軸承分別與所述第三內(nèi)套連接，并能帶動(dòng)所述第三內(nèi)套轉(zhuǎn)動(dòng)。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件還包括設(shè)置于所述第二通道內(nèi)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述第二通道沿出料方向的直徑不變，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括設(shè)置于所述第二通道的出料口的第三軸承和設(shè)置于所述第三通道的進(jìn)料口的第四軸承；

所述第三軸承和所述第四軸承分別與所述第二內(nèi)套連接，并能帶動(dòng)所述第二內(nèi)套轉(zhuǎn)動(dòng)。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述第二通道的內(nèi)壁設(shè)置有球體，所述第二內(nèi)套能與所述球體接觸。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述第二內(nèi)套和所述第三內(nèi)套之間設(shè)置有第一密封圈，所述第一內(nèi)套和所述第二內(nèi)套之間設(shè)置有第二密封圈，所述第一內(nèi)套和所述第一通道的內(nèi)壁之間設(shè)置有第三密封圈。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述第一內(nèi)套、所述第二內(nèi)套和所述第三內(nèi)套的橫截面為多邊形。

在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述內(nèi)套采用導(dǎo)熱材料制成。

可見(jiàn)，在以上各個(gè)方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┑恼舭l(fā)源噴嘴的至少部分內(nèi)套通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)組件可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于通道內(nèi)，如此有利于附著在內(nèi)套上的冷凝材料蒸發(fā)或回落至坩堝，從而降低了蒸發(fā)材料冷凝后會(huì)堵塞噴嘴的可能性，提高了蒸鍍的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的蒸發(fā)源噴嘴的剖面示意圖；

圖2為圖1中第一內(nèi)套的俯視圖。

附圖標(biāo)記：

1-噴嘴本體；