[發明專利]蒸發源噴嘴

在審

• 申請號: 201911325298.2
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN113005408A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 軒景泉;錢海濤;林文晶;馬曉宇
• 申請（專利權）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 馮偉

1.一種蒸發源噴嘴，其特征在于，包括：

噴嘴本體(1)，所述噴嘴本體(1)包括用于使蒸發材料流通的通道(10)；

內套(2)，所述內套(2)和所述通道(10)的內壁之間設置有轉動組件，至少部分所述內套(2)通過所述轉動組件可轉動地設置于所述通道(10)內。

2.根據權利要求1所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述通道(10)沿出料方向依次包括第一通道(101)、第二通道(102)和第三通道(103)，所述內套(2)沿出料方向依次包括第一內套(21)、第二內套(22)和第三內套(23)，所述第一內套(21)設置于所述第一通道(101)內，所述第二內套(22)設置于所述第二通道(102)內，所述第三內套(23)設置于所述第三通道(103)內；

所述第一通道(101)、所述第二通道(102)和所述第三通道(103)中的至少一者設置有所述轉動組件。

3.根據權利要求2所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述轉動組件包括設置于所述第三通道(103)內的第一轉動組件，所述第三通道(103)沿出料方向的直徑逐漸減小，所述第一轉動組件包括設置于所述第三通道(103)的出料口的第一軸承(31)和設置于所述第三通道(103)的進料口的第二軸承(32)；

所述第一軸承(31)和所述第二軸承(32)分別與所述第三內套(23)連接，并能帶動所述第三內套(23)轉動。

4.根據權利要求3所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述轉動組件還包括設置于所述第二通道(102)內的第二轉動組件，所述第二通道(102)沿出料方向的直徑不變，所述第二轉動組件包括設置于所述第二通道(102)的出料口的第三軸承(33)和設置于所述第三通道(103)的進料口的第四軸承(34)；

所述第三軸承(33)和所述第四軸承(34)分別與所述第二內套(22)連接，并能帶動所述第二內套(22)轉動。

5.根據權利要求4所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述第二通道(102)的內壁設置有球體(5)，所述第二內套(22)能與所述球體(5)接觸。

6.根據權利要求2所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述第二內套(22)和所述第三內套(23)之間設置有第一密封圈(41)，所述第一內套(21)和所述第二內套(22)之間設置有第二密封圈(42)，所述第一內套(21)和所述第一通道(101)的內壁之間設置有第三密封圈(43)。

7.根據權利要求2所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述第一內套(21)、所述第二內套(22)和所述第三內套(23)的橫截面為多邊形。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的蒸發源噴嘴，其特征在于，所述內套(2)采用導熱材料制成。