[發明專利]金屬板的制造方法以及蒸鍍掩模的制造方法有效
| 申請號： | 201911322407.5 | 申請日： | 2015-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN111004996B | 公開（公告）日： | 2022-05-17 |
| 發明（設計）人： | 池永知加雄 | 申請（專利權）人： | 大日本印刷株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23F1/02;H01L51/00;H01L51/50;H05B33/10;B21B38/04;B21B15/00;B21B3/02;B21B1/40 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 龐東成 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬板 制造 方法 以及 蒸鍍掩模 | ||
1.一種金屬板的制造方法，其為通過形成2個以上的貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的長條狀金屬板的制造方法，其中，
所述金屬板的制造方法具備下述工序：
軋制工序，對母材進行軋制，得到長度方向的板厚的平均值為規定值±3％的范圍內的所述金屬板；和
切斷工序，將所述金屬板的寬度方向的一端和另一端以規定范圍切掉，
關于所述金屬板中的板厚的偏差，滿足以下的條件(1)、(2)，
(1)在將長度方向的所述金屬板的板厚的平均值設為A，將長度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差乘以3而得到的值設為B時，(B/A)×100(％)為5％以下；以及，
(2)在將寬度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差乘以3而得到的值設為C，將為了計算出寬度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差而沿著寬度方向測定所述金屬板的板厚時得到的、寬度方向的中央部的所述金屬板的板厚的值設為X時，(C/X)×100(％)為3％以下。
2.一種金屬板的制造方法，其為通過形成2個以上的貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的長條狀金屬板的制造方法，其中，
所述金屬板的制造方法具備下述工序：
制箔工序，通過鍍覆處理從而得到長度方向的板厚的平均值為規定值±3％的范圍內的所述金屬板；和
切斷工序，將所述金屬板的寬度方向的一端和另一端以規定范圍切掉，
關于所述金屬板中的板厚的偏差，滿足以下的條件(1)、(2)，
(1)在將長度方向的所述金屬板的板厚的平均值設為A，將長度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差乘以3而得到的值設為B時，(B/A)×100(％)為5％以下；以及，
(2)在將寬度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差乘以3而得到的值設為C，將為了計算出寬度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差而沿著寬度方向測定所述金屬板的板厚時得到的、寬度方向的中央部的所述金屬板的板厚的值設為X時，(C/X)×100(％)為3％以下。
3.如權利要求1或2所述的金屬板的制造方法，其中，所述金屬板的板厚為80μm以下。
4.如權利要求1或2所述的金屬板的制造方法，其中，所述金屬板的板厚為40μm以下。
5.如權利要求1或2所述的金屬板的制造方法，其中，寬度方向的所述金屬板的板厚的標準偏差是基于在沿著長度方向在所述金屬板上延伸的m條假想直線與沿著寬度方向在所述金屬板上延伸的n條假想直線的交點所測定的所述金屬板的板厚計算出的，m為2以上的自然數，n為1以上的自然數，
mn。
6.如權利要求1或2所述的金屬板的制造方法，其中，所述母材由包含鎳的鐵合金構成。
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