[發明專利]一種環件三坐標檢具及利用其的測量方法和用途

有效

• 申請號: 201911318573.8
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN110906893B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;陳文慶;羅明浩
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00;G01B21/04;G01B21/08
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發明提供一種環件三坐標檢具，所述檢具在底座上設置有與待測環件相匹配的圓形凹腔，并沿圓形凹腔的外周設置有供三坐標測量機測針伸入的凹槽；本發明提供的所述檢具通過圓形凹腔實現對環件的固定，凹槽供三坐標測量機的測針伸入，從而能夠測量環件的底部和側面；本發明提供的檢具結構簡單、加工容易；利用該檢具進行環件三坐標測量時，能夠有效防止環件在測量過程中變形，保障環件的檢測準確度和重復性，提高檢測效率，能夠很好地應用在半導體或機械加工領域。

技術領域

本發明涉及零部件檢驗技術領域，尤其涉及一種環件三坐標檢具及利用其的測量方法和用途。

背景技術

在半導體芯片的生產過程中，靶材濺射中無論是8寸生產線，12寸生產線都會用到環件，環件在其中也參與濺射。環件在濺射機臺上安裝后，通過電流通電作用，使周圍產生磁場，讓濺射靶材上面的原子通過磁場能夠均勻的附著在晶圓上，環件安裝在機臺上，開口位置通電時，其他區域與機臺不能有接觸，不能有導電。

因此需要嚴格把控環件的尺寸，目前環件的測量主要依靠卡尺和千分尺檢測一些簡單的尺寸例如高度和壁厚，采用人工測量的方法，效率偏低且準確性和重復性得不到保障，而且對于復雜的尺寸無法進行檢測。

機械加工領域常采用三坐標測量機對零部件的尺寸進行檢測，但采用三坐標測量機對零部件進行檢測時必須保證環件本身的形狀不變。而靶材濺射中采用的環件是由板條卷成的，且環件含有開口，在檢測過程中容易產生較大的變形，如果產品變形較大，在檢測時測針就會錯過產品或者撞到產品，不僅無法實現精確測量，而且容易劃傷環件。

CN206855298U公開了一種三坐標測量夾具，該夾具上設置有定位點，但該夾具未考慮零部件易變形時如何進行三坐標檢測的問題。

CN208140064U公開了一種具有旋轉功能的三坐標測量夾具，該夾具在測量過程中能夠旋轉，但無法解決零部件變形導致無法進行三坐標檢測的難題。

CN110160476A公開了一種基于三坐標測量機的連續自動測量系統，其系統包括了一種組合夾具，但該夾具同樣無法實現易變形零部件的三坐標檢測。

綜上，現有三坐標測量機的夾具均未意識到解決易變形零部件的測量問題，導致目前易變形的環件仍然采用手工測量，測量效率低且準確度和重復性無法保障。

因此，需要開發一種便于三坐標測量機對環件進行測量的檢具及方法，提高環件的檢測效率和準確度。

發明內容

鑒于現有技術中存在的問題，本發明提供一種環件三坐標檢具，所述檢具通過在底座上設置有與待測環件相匹配的圓形凹腔，能夠固定環件，防止其在檢測過程中產生變形；沿圓形凹腔的外周通過設置供三坐標測量機測針伸入的凹槽，從而能夠測量環件的底部和側面，并且檢測尺寸范圍廣；利用該檢具進行環件三坐標測量時，能夠保障環件的檢測準確度和重復性，應用在半導體或機械加工領域，能夠提高檢測效率，保障產品精度。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

第一方面，本發明提供一種環件三坐標檢具，所述檢具包括底座；所述底座上設置有與待測環件相匹配的圓形凹腔；在所述底座上，沿圓形凹腔的外周設置有供三坐標測量機測針伸入的凹槽。

本發明提供的環件三坐標檢具通過在底座上設置有與待測環件相匹配的圓形凹腔，能夠固定環件，防止其在檢測過程中產生變形。沿圓形凹腔的外周設置的供三坐標測量機測針伸入的凹槽能夠測量環件的底部和側面，從而能夠測量復雜的尺寸，提高檢測效率和準確度。

優選地，所述圓形凹腔的深度為45～60mm，例如可以是45mm、46mm、47mm、48mm、49mm、50mm、51mm、52mm、53mm、54mm、55mm、56mm、57mm、58mm、59mm或60mm，優選為48～55mm。

優選地，所述凹槽的深度小于圓形凹腔的深度。