[發明專利]一種多路分時共同電沉積裝置

有效

• 申請號: 201911315964.4
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN111025980B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發明（設計）人: 紀仁杰;劉勝貴;盧帥辰;鄭茜;金輝;張凡;劉永紅;蔡寶平;李小鵬
• 申請（專利權）人: 中國石油大學（華東）
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042;C25D21/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多路分時共同電沉積裝置，其特征在于：包括電解槽(1)、電解液（2）、穩壓電源（3）、開關（4）、陽極板（5）、陰極板（6）和時間控制系統（7）；所述的陰極板（6）包括絕緣基體、以及形成于絕緣基體表面的若干互相絕緣的導電層；所述時間控制系統（7）通過導線與所述陰極板（6）的若干互相絕緣的導電層分別相連；所述時間控制系統（7）用于控制各個導電層開始進行電沉積和按照設定順序停止進行電沉積；所述絕緣基體為玻璃基體（8）；所述導電層為形成于玻璃基體（8）之上的銦錫氧化物導電層（9）；通過除去銦錫氧化物導電層（9）中的一部分而形成相互絕緣的若干塊導電層；穩壓電源（3）的正極通過導線與陽極板（5）連接，穩壓電源（3）的負極通過導線與開關（4）相連；開關（4）通過信號線與時間控制系統（7）的控制單元相連，開關（4）通過導線還與時間控制系統（7）的執行單元相連；時間控制系統（7）通過導線與陰極板（6）相連；所述的一種多路分時共同電沉積裝置，能夠在保證電沉積參數不變的情況下一次獲得不同時刻的沉積層，從而發現電沉積過程中的缺陷，對于揭示電沉積初始階段的微觀過程有重要作用。

2.如權利要求1所述的多路分時共同電沉積裝置，其特征在于，所述時間控制系統（7）包括上位機、控制單元、執行單元；上位機連接到控制單元，所述控制單元連接執行單元，所述執行單元與若干個導電層分別連接；控制單元設置與導電層數量相同的控制引腳，執行單元中設置與導電層數量相同的MOS管；每個控制引腳分別連接到相應的MOS管的G極，相應的MOS管的D極分別與各個導電層連接；所有MOS管的S極都連接到穩壓電源（3）的負極。

3.如權利要求1所述的多路分時共同電沉積裝置，其特征在于，所述的陰極板（6）的導電層包括第一區域（11）、第二區域（12）、第三區域（13）、第四區域（14）。

4.如權利要求2所述的多路分時共同電沉積裝置，其特征在于，所述的控制單元包括單片機；控制單元可通過上位機下載不同的程序分別控制第一引腳、第二引腳、第三引腳、第四引腳置高電位或低電位。

5.如權利要求2所述的多路分時共同電沉積裝置，其特征在于，所述的執行單元為四個單獨動作的半導體場效應MOS管，分別為第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管，它們均包括柵極G、源極S和漏極D；控制單元的第一引腳、第二引腳、第三引腳、第四引腳通過導線分別與對應的第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管的柵極G連接；控制單元通過引腳輸出高電位時，對應的MOS管閉合，控制單元通過引腳輸出低電位時，對應的MOS管斷開；第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管的源極S通過導線接入到穩壓電源（3）的負極，第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管的漏極D通過導線分別接入到陰極板（6）的第一區域（11）、第二區域（12）、第三區域（13）、第四區域（14）。