[發(fā)明專利]一種多路分時(shí)共同電沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911315964.4
• 申請(qǐng)日: 2019-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111025980B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 紀(jì)仁杰;劉勝貴;盧帥辰;鄭茜;金輝;張凡;劉永紅;蔡寶平;李小鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)石油大學(xué)（華東）
• 主分類號(hào): G05B19/042
• 分類號(hào): G05B19/042;C25D21/12
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種多路分時(shí)共同電沉積裝置，包括電解槽(1)、電解液(2)、穩(wěn)壓電源(3)、開(kāi)關(guān)(4)、陽(yáng)極板(5)、陰極板(6)和時(shí)間控制系統(tǒng)(7)；所述的陰極板(6)包括絕緣基體、以及形成于絕緣基體表面的若干互相絕緣的導(dǎo)電層；所述時(shí)間控制系統(tǒng)(7)通過(guò)導(dǎo)線與所述陰極板(6)的若干互相絕緣的導(dǎo)電層分別相連；所述時(shí)間控制系統(tǒng)(7)用于控制各個(gè)導(dǎo)電層開(kāi)始進(jìn)行電沉積和按照設(shè)定順序停止進(jìn)行電沉積；本發(fā)明的多路分時(shí)共同電沉積裝置，可在保證電沉積參數(shù)不變的情況下一次獲得不同時(shí)刻的沉積層，從而發(fā)現(xiàn)電沉積過(guò)程中的缺陷，以改進(jìn)參數(shù)提高產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電沉積裝置，具體涉及一種多路分時(shí)共同電沉積裝置。

背景技術(shù)

材料的磨損、腐蝕、氧化等一般都是從表面開(kāi)始的，它們帶來(lái)的破壞和損失是十分驚人的，所以通過(guò)電沉積方法對(duì)金屬材料表面改性以提高其性能是非常有必要的。而又由于電沉積一般是在不透明的溶液中進(jìn)行，其沉積過(guò)程中的變化很難被觀測(cè)，沉積過(guò)程中存在的缺陷很難被發(fā)現(xiàn)，對(duì)沉積層的檢測(cè)與表征僅局限于外層。

因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，需要改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種多路分時(shí)共同電沉積裝置，以期望在保證電沉積參數(shù)不變的情況下一次獲得不同時(shí)刻的沉積層，從而發(fā)現(xiàn)沉積過(guò)程中的缺陷，提高產(chǎn)品質(zhì)量；并且該裝置可以得到連續(xù)的電沉積初始時(shí)刻的沉積形貌，可用于觀測(cè)沉積過(guò)程中的變化，對(duì)揭示電沉積規(guī)律和完善現(xiàn)有的電沉積理論有重要作用。

一種多路分時(shí)共同電沉積裝置，包括電解槽(1)、電解液(2)、穩(wěn)壓電源(3)、開(kāi)關(guān)(4)、陽(yáng)極板(5)、陰極板(6)和時(shí)間控制系統(tǒng)(7)；所述的陰極板(6)包括絕緣基體、以及形成于絕緣基體表面的若干互相絕緣的導(dǎo)電層；所述時(shí)間控制系統(tǒng)(7)通過(guò)導(dǎo)線與所述陰極板(6)的若干互相絕緣的導(dǎo)電層分別相連；所述時(shí)間控制系統(tǒng)(7)用于控制各個(gè)導(dǎo)電層開(kāi)始進(jìn)行電沉積和按照設(shè)定順序停止進(jìn)行電沉積。

所述的多路分時(shí)共同電沉積裝置，所述絕緣基體為玻璃基體(8)；所述導(dǎo)電層為形成于玻璃基體(8)之上的銦錫氧化物導(dǎo)電層(9)；通過(guò)除去銦錫氧化物導(dǎo)電層(9)中的一部分而形成相互絕緣的若干塊導(dǎo)電層。

所述的多路分時(shí)共同電沉積裝置，穩(wěn)壓電源(3)的正極通過(guò)導(dǎo)線與陽(yáng)極板(5)連接，穩(wěn)壓電源(5)的負(fù)極通過(guò)導(dǎo)線與開(kāi)關(guān)(4)相連；開(kāi)關(guān)(4)通過(guò)信號(hào)線與時(shí)間控制系統(tǒng)(7)的控制單元相連，開(kāi)關(guān)(4)通過(guò)導(dǎo)線還與時(shí)間控制系統(tǒng)(7)的執(zhí)行單元相連；時(shí)間控制系統(tǒng)(7)通過(guò)導(dǎo)線與導(dǎo)電玻璃陰極板(6)相連。

所述的多路分時(shí)共同電沉積裝置，所述時(shí)間控制系統(tǒng)(7)包括上位機(jī)、控制單元、執(zhí)行單元；上位機(jī)連接到控制單元，所述控制單元連接執(zhí)行單元，所述執(zhí)行單元與若干個(gè)導(dǎo)電層分別連接；控制單元設(shè)置與導(dǎo)電層數(shù)量相同的控制引腳，執(zhí)行單元中設(shè)置與導(dǎo)電層數(shù)量相同的MOS管；每個(gè)控制引腳分別連接到相應(yīng)的MOS管的G極，相應(yīng)的MOS管的D極分別與各個(gè)導(dǎo)電層連接；所有MOS管的S極都連接到可調(diào)直接穩(wěn)壓電源(3)的負(fù)極。

所述的多路分時(shí)共同電沉積裝置，所述的導(dǎo)電玻璃陰極板(6)的導(dǎo)電層包括第一區(qū)域(11)、第二區(qū)域(12)、第三區(qū)域(13)、第四區(qū)域(14)。

所述的多路分時(shí)共同電沉積裝置，所述的控制單元包括單片機(jī)；控制單元可通過(guò)上位機(jī)下載不同的程序分別控制第一引腳、第二引腳、第三引腳、第四引腳置高電位或低電位。