[發明專利]損傷的載物臺修復用溶液組合物、損傷的載物臺修復方法及損傷的載物臺的抗靜電涂布方法

在審

• 申請號: 201911311443.1
• 申請日: 2019-12-18
• 公開（公告）號: CN110964353A
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 吳尚根;金斗鐘;鄭多情
• 申請（專利權）人: 拓普納諾斯株式會社
• 主分類號: C09D1/00
• 分類號: C09D1/00;C09D133/04;C09D175/04;C09D171/12;C09D5/24;H01L21/683;B05D5/00;B05D5/12;B05D7/24;B05D1/36
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;宋海花

本發明提供損傷的載物臺的修復用溶液組合物、損傷的載物臺的修復方法及損傷的載物臺的抗靜電涂布方法，本發明的溶液組合物包含：含有選自醇、甲苯、甲基乙基酮、環己酮中的至少一種的溶劑；具有1nm～500nm的尺寸且含有選自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳納米管中的至少一種的黑色顏料；分散劑；以及有機系粘合劑和無機系粘合劑混合而成的有機無機混合粘合劑，上述有機系粘合劑為選自多官能性丙烯酸類樹脂、多官能性氨基甲酸酯樹脂和苯氧系樹脂中的至少一種，上述無機系粘合劑為選自氧化鋁溶膠、硅溶膠和二氧化鈦溶膠中的至少一種。根據本發明，提供低價修復半導體、顯示器制作設備的載物臺的方法。

技術領域

本發明涉及損傷的載物臺修復用溶液組合物、利用上述修復用溶液組合物的損傷的載物臺修復方法及損傷的載物臺的抗靜電涂布方法，更詳細而言，涉及半導體、平板顯示器制造設備以及檢測設備等的載物臺上表面因反復操作工序而發生物理損傷時能夠將平坦度、反射率、抗靜電等性能復原的損傷的載物臺的修復用溶液組合物及利用其的損傷的載物臺的修復方法及損傷的載物臺的抗靜電涂布方法。

背景技術

半導體制造制備中所使用的載物臺用于安放晶片基板，通常由金屬和陶瓷材質制作。此外，作為LCD、OLED等平板顯示器制造設備的曝光機(Photolithography equipment)、LC點膠機(Liquid Crystal Dispenser)、檢測器(Inspection equipment)等中所使用的載物臺用于安放玻璃基板，通常由金屬或陶瓷構成，在鋁載物臺的情況下，一般在最外表面形成有氧化鋁被膜(硬質陽極氧化)。

上述載物臺上部面為平面，或者由多個凹凸圖案或整齊地隔開配置且凸出的多個壓紋構成。

此外，上述載物臺上部面通常形成有多個真空孔，從而在制造工序中以真空方式吸附基板而穩定地固定基板。

此時，由于與基板的摩擦，載物臺上部面會發生刮擦等磨損，且在長時間反復吸附和脫附時，發生局部物理損傷，從而會產生表面高低的差異。

因此，由于基板真空吸附壓力，發生基板平坦度的偏差而對操作精密度造成影響。尤其在曝光機載物臺的情況下，曝光精密度變低而發生制品的電路圖案不良。

此外，在形成有黑色的氧化鋁被膜的載物臺的情況下，如果鋁因被膜的損傷而裸露，則反射率變高，由此，在曝光工序時會發生制品的電路圖案不良。進而，金屬性鋁由于在上表面露出，因而會造成靜電的突然放電導致的基板的破損和電路短路等問題。

因此，以往的方案是，利用陽極氧化筆或黑色記號筆來臨時涂抹載物臺的損傷的部位，或者制作新的載物臺來替換。

但是，如果利用以往的陽極氧化筆或記號筆來涂抹損傷的部位，則雖然能夠暫時彌補高度或反射率，但是油墨涂膜會因洗滌載物臺或與基板的接觸摩擦而容易被去除，且涂膜厚度不均勻而在應用時存在局限。此外，制作新的載物臺來替換的方法存在發生巨額費用且在脫附載物臺以及再安裝時需要大量時間而長時間無法啟動設備的問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：韓國注冊專利第10-1171316號

發明內容

所要解決的課題

本發明用于解決以如上所述的問題為代表的多種問題，其目的在于，提供在具有長時間的耐久性的同時所需費用少的損傷的載物臺的修復方法和可以用于此的修復用溶液組合物。尤其提供修正局部磨損的載物臺上部面的高低差而在形成微細電路圖案等對于平坦度敏感的工序中減少不良的方法，且提供對于經氧化鋁被膜處理的載物臺通過修正因金屬鋁裸露而變高的反射率從而在曝光工序等中減少電路圖案不良的方法。

解決課題的方法