[發明專利]損傷的載物臺修復用溶液組合物、損傷的載物臺修復方法及損傷的載物臺的抗靜電涂布方法

在審

• 申請號: 201911311443.1
• 申請日: 2019-12-18
• 公開（公告）號: CN110964353A
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 吳尚根;金斗鐘;鄭多情
• 申請（專利權）人: 拓普納諾斯株式會社
• 主分類號: C09D1/00
• 分類號: C09D1/00;C09D133/04;C09D175/04;C09D171/12;C09D5/24;H01L21/683;B05D5/00;B05D5/12;B05D7/24;B05D1/36
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;宋海花

1.一種損傷的載物臺的修復用溶液組合物，其包含：

溶劑，其包含選自醇、甲苯、甲基乙基酮、環己酮中的至少一種；

黑色顏料，其具有1nm～500nm的尺寸且包含選自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳納米管中的至少一種；

分散劑；以及

有機無機混合粘合劑，其是有機系粘合劑和無機系粘合劑混合而成，所述有機系粘合劑為選自多官能性丙烯酸樹脂、多官能性氨基甲酸酯樹脂和苯氧系樹脂中的至少一種，所述無機系粘合劑為選自氧化鋁溶膠、硅溶膠和二氧化鈦溶膠中的至少一種。

2.根據權利要求1所述的損傷的載物臺的修復用溶液組合物，其特征在于，所述黑色顏料的含量為整體修復用溶液的0.5wt％～3wt％。

3.根據權利要求1所述的損傷的載物臺的修復用溶液組合物，其特征在于，所述有機無機混合粘合劑的含量為整體修復用溶液的1wt％～20wt％。

4.一種損傷的載物臺修復方法，其包括在載物臺的損傷的部分上表面涂布由權利要求1～3中任一項所述的損傷的載物臺的修復用溶液組合物構成的修復用溶液的步驟。

5.根據權利要求4所述的損傷的載物臺修復方法，其特征在于，

所述載物臺的上表面以彼此隔開配置的方式形成有凸出的壓紋部，

涂布所述修復用溶液的步驟中，將所述修復用溶液涂布于損傷的壓紋部上表面。

6.根據權利要求4所述的損傷的載物臺修復方法，其特征在于，涂布所述修復用溶液的步驟中，利用點膠機來涂布所述修復用溶液組合物。

7.根據權利要求4所述的損傷的載物臺修復方法，其特征在于，涂布所述修復用溶液的步驟中，涂布1μm～20μm高度。

8.根據權利要求4所述的損傷的載物臺修復方法，其包括在涂布修復用溶液的步驟之后，涂布保護所述涂布后的修復用溶液的保護用溶液的步驟，

所述保護用溶液包含：

溶劑，其包含選自醇、二丁基醚、異丙基醚、乙基醚、碳酸二甲酯中的至少一種；以及

無機物，其為選自由硅、氮和氫構成的無機化合物、烷氧基硅烷、膠體二氧化硅中的至少一種。

9.根據權利要求8所述的損傷的載物臺修復方法，其特征在于，所述保護用溶液中的無機物的含量為整體保護用溶液的5wt％～20wt％。

10.根據權利要求4所述的損傷的載物臺修復方法，其包括在涂布所述修復用溶液的步驟之前，利用去鏡面化布以損傷的載物臺的上表面的表面粗糙度成為0.5μm～1.0μm的方式對所述載物臺的上表面進行前處理的步驟，

所述去鏡面化布包含選自具有5μm～50μm的粒子尺寸的氧化鋁、碳化硅、石榴石、鋯中的至少一種。

11.一種損傷的載物臺的抗靜電涂布方法，其包括：

在載物臺的損傷的部分上表面涂布由權利要求1～3中任一項所述的損傷的載物臺的修復用溶液組合物構成的修復用溶液的步驟；

在涂布所述修復用溶液的步驟之后，以所述載物臺上表面的面電阻成為10⁶Ω/□～10⁹Ω/□的方式將抗靜電涂布液涂布于所述載物臺上表面的步驟。

12.根據權利要求11所述的損傷的載物臺的抗靜電涂布方法，其特征在于，

所述載物臺的上表面以彼此隔開配置的方式形成有凸出的壓紋部，

涂布所述修復用溶液的步驟中，將所述修復用溶液涂布于損傷的壓紋部上表面。

13.根據權利要求11所述的損傷的載物臺的抗靜電涂布方法，其特征在于，涂布所述修復用溶液的步驟中，利用點膠機來涂布所述修復用溶液組合物。