[發明專利]測試分選機用加壓裝置

有效

• 申請號: 201911308468.6
• 申請日: 2015-11-26
• 公開（公告）號: CN111505349B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 羅閏成;盧種基;徐吉源
• 申請（專利權）人: 泰克元有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26;H05K7/20
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種測試分選機用加壓裝置，其特征在于，

包括:

推壓部，用于對半導體器件進行加壓，使得半導體器件與測試儀電連接；

設置板，用于設置上述推壓部；

彈性部件，用于相對于上述設置板彈性支撐上述推壓部；

冷卻模塊，用于向上述推壓部與位于前方的半導體器件相接觸的上述推壓部的接觸部分供給冷氣；以及

驅動源，通過向前方推動或向后方拉動上述設置板來使上述推壓部對半導體器件進行加壓或解除加壓，

上述推壓部的內部具有冷卻空間，用于向上述接觸部分傳送通過上述冷卻模塊供給的冷氣，

上述冷卻空間向后方開放，

上述冷卻模塊包括:

冷卻塊，具有用于使制冷劑流動的制冷劑流路；

彈性墊，用于彈性支撐上述冷卻塊的前端；

彈性支撐體，用于彈性支撐上述冷卻塊的后端；

設置塊，用于使上述彈性墊和上述彈性支撐體以能夠移動的方式支撐上述冷卻塊；

其中，所述冷卻塊不受所述彈性支撐體的約束而可自由移動。

2.根據權利要求1所述的測試分選機用加壓裝置，其特征在于，上述冷卻模塊還包括結合部件，上述結合部件用于使上述彈性支撐體以結合的方式設置于上述設置塊。

3.根據權利要求1所述的測試分選機用加壓裝置，其特征在于，

上述冷卻模塊還包括插入于上述冷卻空間的傳導性材質的傳導部件，

上述傳導部件的前端與上述接觸部分相接觸。

4.根據權利要求1所述的測試分選機用加壓裝置，其特征在于，上述推壓部的至少一部分由非金屬性隔熱材質形成。