[發(fā)明專利]顯示背板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911307985.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111048527B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黎飛;曹惠敏;魏悅;鄒富偉;鄧偉;潘康觀;鄧?yán)?/a>;張震
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 尹璐

本發(fā)明提出了顯示背板及其制作方法、顯示裝置。該顯示背板包括：襯底，該襯底上限定有膜上芯片區(qū)；柵極，設(shè)置在襯底的一側(cè)；絕緣層，設(shè)置在柵極遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)，且在膜上芯片區(qū)內(nèi)具有第一開(kāi)口；第一數(shù)據(jù)線，覆蓋絕緣層，且通過(guò)第一開(kāi)口與柵極接觸；鈍化層，覆蓋第一數(shù)據(jù)線；第二數(shù)據(jù)線，設(shè)置在鈍化層遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)且具有第二開(kāi)口，并且，第一開(kāi)口在襯底上的正投影落入第二開(kāi)口在襯底上的正投影之內(nèi)。本發(fā)明所提出的顯示背板，其膜上芯片區(qū)的第一開(kāi)孔處中的第二數(shù)據(jù)線可以被刻蝕出第二開(kāi)口，從而避免第一開(kāi)孔的斜坡處在后續(xù)陽(yáng)極濕刻之后容易產(chǎn)生暗點(diǎn)，進(jìn)而提升雙源漏電極結(jié)構(gòu)的顯示背板的制作良品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示制作技術(shù)領(lǐng)域，具體的，本發(fā)明涉及顯示背板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術(shù)

為了改善有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)屏幕的亮度不均問(wèn)題，大尺寸、高頻的有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體(AMOLED屏幕)可以設(shè)計(jì)成雙層源漏電極(SD)的工藝結(jié)構(gòu)。由于雙SD結(jié)構(gòu)中，參考圖2，膜上芯片(COF)區(qū)的第一數(shù)據(jù)線(SD1)400與柵極(Gate)200連接的小孔302比較深且坡度角也較大，當(dāng)濺鍍(sputter)形成第二數(shù)據(jù)線(SD2)600時(shí)，最上面鈦(Ti)亞層在小孔的兩側(cè)斜坡處容易出現(xiàn)缺失，從而導(dǎo)致鋁(Al)亞層裸露在外面。在后續(xù)的陽(yáng)極(Anode)濕刻工藝時(shí)，Al與陽(yáng)極濕刻藥液容易反應(yīng)生成銀點(diǎn)(Ag partical)，從而導(dǎo)致顯示暗點(diǎn)等的不良缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是基于發(fā)明人的下列發(fā)現(xiàn)而完成的：

本發(fā)明的發(fā)明人針對(duì)雙SD結(jié)構(gòu)COF區(qū)的小孔位置容易出現(xiàn)暗點(diǎn)的問(wèn)題，通過(guò)對(duì)小孔區(qū)域結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，將COF區(qū)小孔位置附近的第二數(shù)據(jù)線刻蝕掉，從而有效地降低暗點(diǎn)的風(fēng)險(xiǎn)。此外，還可以用有機(jī)膜層包覆住刻蝕后的第二數(shù)據(jù)線側(cè)邊，從而徹底地防止陽(yáng)極刻蝕液與第二數(shù)據(jù)線中的Al反應(yīng)生成銀點(diǎn)的風(fēng)險(xiǎn)。

在本發(fā)明的第一方面，本發(fā)明提出了一種顯示背板。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述顯示背板包括：襯底，所述襯底上限定有膜上芯片區(qū)；柵極，所述柵極設(shè)置在所述襯底的一側(cè)；絕緣層，所述絕緣層設(shè)置在所述柵極遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)，且在所述膜上芯片區(qū)內(nèi)具有第一開(kāi)口；第一數(shù)據(jù)線，所述第一數(shù)據(jù)線覆蓋所述絕緣層，且通過(guò)所述第一開(kāi)口與所述柵極接觸；鈍化層，所述鈍化層覆蓋所述第一數(shù)據(jù)線；第二數(shù)據(jù)線，所述第二數(shù)據(jù)線設(shè)置在所述鈍化層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)，且具有第二開(kāi)口，并且，所述第一開(kāi)口在所述襯底上的正投影落入所述第二開(kāi)口在所述襯底上的正投影之內(nèi)。

本發(fā)明實(shí)施例的顯示背板，其膜上芯片區(qū)的第一開(kāi)孔處中的第二數(shù)據(jù)線可以被刻蝕出第二開(kāi)口，從而避免第一開(kāi)孔的斜坡處在后續(xù)陽(yáng)極濕刻之后容易產(chǎn)生暗點(diǎn)，進(jìn)而提升雙源漏電極結(jié)構(gòu)的顯示背板的制作良品率。

另外，根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的顯示背板，還可以具有如下附加的技術(shù)特征：

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述第二數(shù)據(jù)線包括層疊設(shè)置的第一亞層、第二亞層和第三亞層，其中，形成所述第一亞層和所述第三亞層的材料包括鈦，形成所述第二亞層的材料包括鋁。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述第一開(kāi)口的深度為1～3微米，且所述第一開(kāi)口的坡度角為65°～75°。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述顯示背板進(jìn)一步包括：第一有機(jī)層，所述第一有機(jī)層設(shè)置在所述第二開(kāi)口中且與所述第二數(shù)據(jù)線接觸，并且環(huán)繞所述第一開(kāi)口設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述第一有機(jī)層的厚度與所述第二數(shù)據(jù)線的厚度相同。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述鈍化層具有第三開(kāi)口，且所述第二數(shù)據(jù)線通過(guò)所述第三開(kāi)口與所述第一數(shù)據(jù)線接觸，并且，所述第三開(kāi)口在所述襯底上的正投影與所述第一開(kāi)口在所述襯底上的正投影不重疊。

在本發(fā)明的第二方面，本發(fā)明提出了一種制作顯示背板的方法。