[發明專利]顯示背板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201911307985.1
• 申請日: 2019-12-18
• 公開（公告）號: CN111048527B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 黎飛;曹惠敏;魏悅;鄒富偉;鄧偉;潘康觀;鄧雷;張震
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 尹璐

1.一種顯示背板，其特征在于，包括：

襯底，所述襯底上限定有膜上芯片區；

柵極，所述柵極設置在所述襯底的一側；

絕緣層，所述絕緣層設置在所述柵極遠離所述襯底的一側，且在所述膜上芯片區內具有第一開口；

第一數據線，所述第一數據線覆蓋所述絕緣層，且通過所述第一開口與所述柵極接觸；

鈍化層，所述鈍化層覆蓋所述第一數據線；

第二數據線，所述第二數據線設置在所述鈍化層遠離所述襯底的一側，且具有第二開口，并且，所述第一開口在所述襯底上的正投影落入所述第二開口在所述襯底上的正投影之內。

2.根據權利要求1所述的顯示背板，其特征在于，所述第二數據線包括層疊設置的第一亞層、第二亞層和第三亞層，其中，形成所述第一亞層和所述第三亞層的材料包括鈦，形成所述第二亞層的材料包括鋁。

3.根據權利要求1所述的顯示背板，其特征在于，所述第一開口的深度為1～3微米，且所述第一開口的坡度角為65°～75°。

4.根據權利要求1所述的顯示背板，其特征在于，進一步包括：

第一有機層，所述第一有機層設置在所述第二開口中且與所述第二數據線接觸，并且環繞所述第一開口設置。

5.根據權利要求4所述的顯示背板，其特征在于，所述第一有機層的厚度與所述第二數據線的厚度相同。

6.根據權利要求1所述的顯示背板，其特征在于，所述鈍化層具有第三開口，且所述第二數據線通過所述第三開口與所述第一數據線接觸，并且，所述第三開口在所述襯底上的正投影與所述第一開口在所述襯底上的正投影不重疊。

7.一種制作顯示背板的方法，其特征在于，包括：

在襯底的一側形成柵極；

在所述柵極遠離所述襯底的一側形成絕緣層，且所述絕緣層在所述襯底的膜上芯片區內具有第一開口；

在所述絕緣層遠離所述襯底的一側形成第一數據線，且所述第一數據線通過所述第一開口與所述柵極接觸；

在所述第一數據線遠離所述襯底的一側形成鈍化層；

在所述鈍化層遠離所述襯底的一側形成第二數據線，且所述第二數據線具有第二開口，并且，所述第一開口在所述襯底上的正投影落入所述第二開口在所述襯底上的正投影之內。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，形成所述第二數據線的步驟包括：

在所述鈍化層遠離所述襯底的一側依次沉積第一亞層、第二亞層和第三亞層，其中，形成所述第一亞層和所述第三亞層的材料包括鈦，形成所述第二亞層的材料包括鋁；

對所述第一亞層、第二亞層和第三亞層進行圖案化處理，以形成所述第二開口。

9.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，進一步包括：

在所述第二開口中形成第一有機層，其中，所述第一有機層與所述第二數據線接觸，且環繞所述第一開口。

10.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求1～6中任一項所述的顯示背板。