[發(fā)明專利]壓電傳感器的形變檢測方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911303387.7
• 申請(qǐng)日: 2019-12-17
• 公開（公告）號(hào): CN110953981B
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳右儒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B7/16
• 分類號(hào): G01B7/16
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 李迎亞;姜春咸

本公開提供一種壓電傳感器的形變檢測方法，所述壓電傳感器包括壓電薄膜層以及位于壓電薄膜層上的第一電極層、第二電極層，所述第一電極層包括第一連接結(jié)構(gòu)，所述第一連接結(jié)構(gòu)在其延伸方向上具有多個(gè)間隔設(shè)置的形變檢測節(jié)點(diǎn)；該形變檢測方法包括：針對(duì)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)，檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況；根據(jù)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況，確定出所述壓電薄膜層的形變位置。本公開還提供了一種形變檢測裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開實(shí)施例涉及壓電傳感器領(lǐng)域，特別涉及一種壓電傳感器的形變檢測方法及裝置。

背景技術(shù)

目前，壓電傳感器通常包括上電極、下電極和位于上下電極之間的壓電薄膜，上下電極均為面狀電極。

現(xiàn)有技術(shù)通常通過檢測電極之間的電壓差的變化來檢測壓電薄膜是否發(fā)生形變，但這種形變檢測方法，僅能夠從整體上檢測出壓電傳感器的形變，而不能有效地檢測出壓電傳感器發(fā)生形變的局部位置。

發(fā)明內(nèi)容

本公開實(shí)施例旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供了一種壓電傳感器的形變檢測方法及裝置。

第一方面，本公開實(shí)施例提供了一種壓電傳感器的形變檢測方法，所述壓電傳感器包括壓電薄膜層以及位于所述壓電薄膜層上的第一電極層、第二電極層，所述第一電極層包括第一連接結(jié)構(gòu)和多個(gè)間隔設(shè)置的第一電極結(jié)構(gòu)，各所述第一電極結(jié)構(gòu)的一端通過所述第一連接結(jié)構(gòu)相互電連接，所述第二電極層包括第二連接結(jié)構(gòu)和多個(gè)間隔設(shè)置的第二電極結(jié)構(gòu)，各所述第二電極結(jié)構(gòu)的一端通過所述第二連接結(jié)構(gòu)相互電連接，所述第一連接結(jié)構(gòu)在其延伸方向上具有多個(gè)間隔設(shè)置的形變檢測節(jié)點(diǎn)；所述形變檢測方法包括：

針對(duì)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)，檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況；

根據(jù)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況，確定出所述壓電薄膜層的形變位置。

在一些實(shí)施例中，所述針對(duì)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)，檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況，包括：

針對(duì)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)，檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值；

根據(jù)該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值和預(yù)先確定的該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的初始電阻值，確定出該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況。

在一些實(shí)施例中，所述根據(jù)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電阻值的變化情況，確定出所述壓電薄膜層的形變位置，包括：

針對(duì)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)，判斷該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值和該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間對(duì)應(yīng)的初始電阻值的差值的絕對(duì)值是否大于0；

若判斷出該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值和該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間對(duì)應(yīng)的初始電阻值的差值的絕對(duì)值大于0時(shí)，將該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的位置確定為所述壓電薄膜層的形變位置。

在一些實(shí)施例中，所述檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值，包括：

向該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)施加電流；

檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電壓差；

根據(jù)該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電壓差，基于歐姆定律，確定出該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值。

在一些實(shí)施例中，所述向該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)施加預(yù)設(shè)電流，包括：利用預(yù)設(shè)的惠斯通電橋電路向該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)施加電流；

所述檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電壓差，包括：通過所述惠斯通電橋電路檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的電壓差。

在一些實(shí)施例中，所述針對(duì)每相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)，檢測該相鄰兩個(gè)形變檢測節(jié)點(diǎn)之間的當(dāng)前電阻值，包括