[發明專利]壓電傳感器的形變檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201911303387.7
• 申請日: 2019-12-17
• 公開（公告）號: CN110953981B
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 陳右儒
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01B7/16
• 分類號: G01B7/16
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 李迎亞;姜春咸

1.一種壓電傳感器的形變檢測方法，所述壓電傳感器包括壓電薄膜層以及位于所述壓電薄膜層上的第一電極層、第二電極層，所述第一電極層包括第一連接結構和多個間隔設置的第一電極結構，各所述第一電極結構的一端通過所述第一連接結構相互電連接，所述第二電極層包括第二連接結構和多個間隔設置的第二電極結構，各所述第二電極結構的一端通過所述第二連接結構相互電連接，所述第一連接結構在其延伸方向上具有多個間隔設置的形變檢測節點；其特征在于，所述形變檢測方法包括：

針對每相鄰兩個形變檢測節點，檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況；

根據每相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況，確定出所述壓電薄膜層的形變位置。

2.根據權利要求1所述的形變檢測方法，其特征在于，所述針對每相鄰兩個形變檢測節點，檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況，包括：

針對每相鄰兩個形變檢測節點，檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值；

根據該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值和預先確定的該相鄰兩個形變檢測節點之間的初始電阻值，確定出該相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況。

3.根據權利要求2所述的形變檢測方法，其特征在于，所述根據每相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況，確定出所述壓電薄膜層的形變位置，包括：

針對每相鄰兩個形變檢測節點，判斷該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值和該相鄰兩個形變檢測節點之間對應的初始電阻值的差值的絕對值是否大于0；

若判斷出該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值和該相鄰兩個形變檢測節點之間對應的初始電阻值的差值的絕對值大于0時，將該相鄰兩個形變檢測節點所對應的位置確定為所述壓電薄膜層的形變位置。

4.根據權利要求2所述的形變檢測方法，其特征在于，所述檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值，包括：

向該相鄰兩個形變檢測節點施加電流；

檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電壓差；

根據該相鄰兩個形變檢測節點之間的電壓差，基于歐姆定律，確定出該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值。

5.根據權利要求4所述的形變檢測方法，其特征在于，所述向該相鄰兩個形變檢測節點施加電流，包括：利用預設的惠斯通電橋電路向該相鄰兩個形變檢測節點施加電流；

所述檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電壓差，包括：通過所述惠斯通電橋電路檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電壓差。

6.根據權利要求2所述的形變檢測方法，其特征在于，所述針對每相鄰兩個形變檢測節點，檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值，包括

以在所述第一連接結構的延伸方向上的第一個形變檢測節點作為基準節點，依次檢測其他各形變檢測節點與該基準節點之間的當前電阻值；

根據其他各形變檢測節點與該基準節點之間的當前電阻值，確定出每相鄰兩個形變檢測節點之間的當前電阻值。

7.根據權利要求1所述的形變檢測方法，其特征在于，所述針對每相鄰兩個形變檢測節點，檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況之前，還包括：

獲取所述第一電極層和所述第二電極層之間的當前電壓差；

根據所述當前電壓差和預先確定的初始電壓差，確定所述壓電薄膜層是否發生形變；

若確定所述壓電薄膜層發生形變時，執行所述針對每相鄰兩個形變檢測節點，檢測該相鄰兩個形變檢測節點之間的電阻值的變化情況的步驟。