[發(fā)明專利]拋光墊即時整修方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911299600.1 | 申請日： | 2019-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN112975749A | 公開（公告）日： | 2021-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳炤彰;林建憲;陳俊臣;李人杰;王仲偉;傅彥綺 | 申請（專利權(quán)）人： | 大量科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/017 | 分類號： | B24B53/017;B24B37/005;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光 即時 整修 方法 | ||
1.一種拋光墊即時整修方法，其特征在于，包含有：
修整步驟：拋光墊依基座旋轉(zhuǎn)，使修整器抵壓于拋光墊表面，并朝向拋光墊內(nèi)側(cè)或外側(cè)位移，對拋光墊表面進(jìn)行修整；
檢測步驟：拋光墊保持旋轉(zhuǎn)，檢測裝置于拋光墊上方朝向拋光墊內(nèi)側(cè)或外側(cè)位移，讓檢測裝置持續(xù)地對拋光墊進(jìn)行檢測，并將檢測資料傳送至主機(jī)端；
重建與分析步驟：主機(jī)端依據(jù)檢測裝置所傳送的檢測資料進(jìn)行拋光墊表面形貌重建，再根據(jù)形貌重建的結(jié)果進(jìn)行分析。
2.如權(quán)利要求1所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該重建與分析步驟中的主機(jī)端根據(jù)形貌重建的結(jié)果進(jìn)行的分析，為拋光墊表面粗糙度分析，當(dāng)粗糙度分析結(jié)果為不足時，則使拋光墊再次進(jìn)行修整步驟以及檢測步驟，直到重建與分析步驟分析出拋光墊表面粗糙度足夠?yàn)橹埂?/p>
3.如權(quán)利要求1所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該重建與分析步驟中的主機(jī)端根據(jù)形貌重建的結(jié)果進(jìn)行的分析，為拋光墊溝槽深度分析，當(dāng)溝槽深度分析結(jié)果為不足時，則發(fā)出更換拋光墊的訊息。
4.如權(quán)利要求1所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該檢測裝置，具有用以檢測拋光墊表面的檢測器，以及利用氣體噴注讓拋光液層產(chǎn)生隔離區(qū)域使拋光墊露出的隔離器。
5.如權(quán)利要求4所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該檢測裝置的隔離器具有用以噴注氣體的氣嘴，氣嘴噴注氣體范圍包含檢測器的檢測位置。
6.如權(quán)利要求4所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該檢測裝置還設(shè)置有位移器，位移器具有驅(qū)動單元以及連接于驅(qū)動單元的擺臂，檢測器與隔離器連接于擺臂，驅(qū)動單元能夠驅(qū)動擺臂帶動檢測器與隔離器于拋光墊上方朝向拋光墊內(nèi)側(cè)或外側(cè)弧形水平位移。
7.如權(quán)利要求4所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該檢測裝置還設(shè)置有位移器，位移器具有驅(qū)動單元以及連接于驅(qū)動單元的位移臂，檢測器與隔離器連接于位移臂，驅(qū)動單元能夠驅(qū)動位移臂帶動檢測器與隔離器于拋光墊上方朝向拋光墊內(nèi)側(cè)或外側(cè)直線水平位移。
8.如權(quán)利要求4所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該檢測裝置的檢測器是共軛焦顯微鏡或感光耦合元件。
9.如權(quán)利要求1所述的拋光墊即時整修方法，其特征在于：該檢測步驟中的檢測裝置是以固定或非固定檢測頻率持續(xù)地對拋光墊進(jìn)行檢測，而檢測裝置于拋光墊上方朝向拋光墊內(nèi)側(cè)或外側(cè)位移時，其位移速度為變動速率。
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