[發明專利]一種高效雙頭固晶裝置

在審

• 申請號: 201911292056.8
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN110890298A
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 馮霞霞
• 申請（專利權）人: 江蘇新智達新能源設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 袁興隆

1.一種高效雙頭固晶裝置，包括

擴晶盤（1），用于放置待封裝的晶元藍膜；

工作臺（2），用于放置石墨盤，所述石墨盤中放置有待封裝的料片；

其特征在于：所述高效雙頭固晶裝置還包括甩臂、輸送軌（3）、收料機構和甩臂驅動機構，所述輸送軌（3）設置在固定的底板（4）上，所述工作臺（2）通過工作臺調節機構滑動安裝在所述輸送軌（3）上，所述甩臂驅動機構可以驅動所述甩臂在擴晶盤（1）和工作臺（2）之間移動，并將所述晶元藍膜上的晶元取出并安裝到所述石墨盤中的料片上，所述收料機構設置在所述底板（4）上，用于將封裝完畢的石墨盤從工作臺（2）上取出。

2.如權利要求1所述的一種高效雙頭固晶裝置，其特征在于：所述甩臂的數量為二個，二個所述甩臂分別為第一甩臂（5）和第二甩臂（6），所述甩臂驅動機構包括轉臺（7）和第一驅動電機（8），所述第一甩臂（5）和所述第二甩臂（6）對稱設置在所述轉臺（7）的左右兩側，所述第一驅動電機（8）設置在固定的機架（9）上，所述第一驅動電機（8）的輸出軸與所述轉臺（7）固定連接并可驅動所述轉臺（7）轉動以在旋轉方向調節所述第一甩臂（5）和所述第二甩臂（6）的位置，所述甩臂驅動機構還包括第一豎直調節單元和第二豎直調節單元，所述第一甩臂（5）通過所述第一豎直調節單元活動設置在所述轉臺（7）上，所述第一豎直調節單元可驅動所述第一甩臂（5）沿豎直方向移動，所述第二甩臂（6）通過所述第二豎直調節單元活動設置在所述轉臺（7）上，所述第二豎直調節單元可驅動所述第二甩臂（6）沿豎直方向移動。

3.如權利要求2所述的一種高效雙頭固晶裝置，其特征在于：所述第一豎直調節單元包括支撐軸（10）、第一連接桿（11）、第一導軌（12）和第一滑塊（13），所述第一導軌（12）沿豎直方向設置在所述轉臺（7）上，所述第一滑塊（13）滑動設置在所述第一導軌（12）上，并與所述第一甩臂（5）固定連接，所述支撐軸（10）沿豎直方向活動安裝在所述轉臺（7）上，所述支撐軸（10）的底部與所述第一連接桿（11）的一端轉動連接，所述第一連接桿（11）的另一端與所述第一滑塊（13）固定連接，所述支撐軸（10）上下移動能夠帶動所述第一甩臂（5）上下移動；所述第一豎直調節單元還包括第二連接桿（14）、第一曲柄（15）、第一偏心輪（16）和第二驅動電機（17），所述第二驅動電機（17）固定設置在所述機架（9）上，所述第二驅動電機（17）的輸出軸與所述第一偏心輪（16）固定連接，所述第一曲柄（15）的一端與所述第一偏心輪（16）相鉸接，所述第一曲柄（15）的另一端與所述第二連接桿（14）的一端相鉸接，所述第二連接桿（14）的另一端與所述支撐軸（10）的頂部轉動連接，所述第一偏心輪（16）在所述第二驅動電機（17）的驅動下轉動能夠帶動所述支撐軸（10）上下移動。

4.如權利要求3所述的一種高效雙頭固晶裝置，其特征在于：所述第二豎直調節單元包括連接軸（20）、第三連接桿（21）、第二導軌（22）和第二滑塊（23），所述支撐軸（10）中設置有安裝孔，所述連接軸（20）由上至下插入所述安裝孔中并能沿所述安裝孔的軸向上下移動，所述第二導軌（22）沿豎直方向設置在所述轉臺（7）上，所述第二滑塊（23）滑動設置在所述第二導軌（22）上，并與所述第二甩臂（6）固定連接，所述支撐軸（10）的底部與所述第三連接桿（21）的一端轉動連接，所述第三連接桿（21）的另一端與所述第二滑塊（23）固定連接，所述連接軸（20）上下移動能夠帶動所述第二甩臂（6）上下移動；所述第二豎直調節機構還包括第四連接桿（24）、第二曲柄（25）、第二偏心輪（26）和第三驅動電機（27），所述第三驅動電機（27）固定設置在所述機架（9）上，所述第三驅動電機（27）的輸出軸與所述第二偏心輪（26）固定連接，所述第二曲柄（25）的一端與所述第二偏心輪（26）相鉸接，所述第二曲柄（25）的另一端與所述第四連接桿（24）的一端相鉸接，所述第四連桿的另一端與所述連接軸（20）的頂部轉動連接，所述第二偏心輪（26）在所述第三驅動電機（27）的驅動下轉動能夠帶動所述連接軸（20）上下移動，進而帶動所述第二甩臂（6）上下移動。