[發明專利]襯底處理裝置及襯底搬送方法

在審

• 申請號: 201911284037.0
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN111383956A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 桑原丈二
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 陳甜甜

1.一種襯底處理裝置，對襯底進行處理，且包含以下要素：

多個處理塊，配置成一列，且具有至少1個一端側的處理塊及至少1個另一端側的處理塊；

裝載塊，與所述多個處理塊中的一端的處理塊連結，且設有用于載置能夠收納多個襯底的載具的第1載具載置臺；及

接口塊，與所述多個處理塊中的另一端的處理塊連結，針對外部裝置進行襯底的搬入及搬出，且設有用于載置所述載具的第2載具載置臺；

所述裝載塊從載置在所述第1載具載置臺上的所述載具取出襯底，并將所取出的襯底輸送到所述一端側的處理塊，

所述一端側的處理塊對輸送來的襯底進行預先設定的處理，

所述另一端側的處理塊將由所述一端側的處理塊處理后的襯底輸送到所述接口塊，

所述接口塊將由所述一端側的處理塊處理后的襯底搬出到所述外部裝置，

所述接口塊從所述外部裝置搬入襯底，且將由所述外部裝置處理后的襯底輸送到所述另一端側的處理塊，

所述另一端側的處理塊對從所述接口塊輸送來的襯底進行預先設定的處理，

所述接口塊將由所述另一端側的處理塊處理后的襯底移回到載置在所述第2載具載置臺上的所述載具。

2.根據權利要求1所述的襯底處理裝置，其中

所述多個處理塊具備進行第1處理的第1處理塊及進行第2處理的第2處理塊，

所述裝載塊與所述第1處理塊連結，

所述接口塊與所述第2處理塊連結，

所述第2處理塊與所述第1處理塊連結，

所述裝載塊從載置在所述第1載具載置臺上的所述載具取出襯底，并將所取出的襯底輸送到所述第1處理塊，

所述第1處理塊對輸送來的襯底進行所述第1處理，且將進行了所述第1處理的襯底輸送到所述第2處理塊，

所述第2處理塊將進行了所述第1處理的襯底輸送到所述接口塊，

所述接口塊將進行了所述第1處理的襯底搬出到所述外部裝置，

所述接口塊從所述外部裝置搬入襯底，且將由所述外部裝置進行了第3處理的襯底輸送到所述第2處理塊，

所述第2處理塊對從所述接口輸送來的襯底進行所述第2處理，且將進行了所述第2處理的襯底輸送到所述接口塊，

所述接口塊將由所述第2處理塊處理后的襯底移回到載置在所述第2載具載置臺上的所述載具。

3.根據權利要求1或2所述的襯底處理裝置，其還具備載具搬送機構，

該載具搬送機構在所述第1載具載置臺與所述第2載具載置臺之間搬送所述載具。

4.根據權利要求3所述的襯底處理裝置，其中

所述載具搬送機構搭載在所述第1處理塊及所述第2處理塊之上。

5.根據權利要求3所述的襯底處理裝置，其還具備載具保管架，

該載具保管架搭載在所述第1處理塊及所述第2處理塊中的至少一個之上，

所述載具搬送機構在所述第1載具載置臺、所述第2載具載置臺及所述載具保管架之間搬送所述載具。

6.一種襯底處理裝置，對襯底進行處理，且包含以下要素：

多個處理塊，配置成一列，且具有至少1個一端側的處理塊及至少1個另一端側的處理塊；

裝載塊，與所述多個處理塊中的一端的處理塊連結，且設有用于載置能夠收納多個襯底的載具的第1載具載置臺；及

接口塊，與所述多個處理塊中的另一端的處理塊連結，針對外部裝置進行襯底的搬入及搬出，且設有用于載置所述載具的第2載具載置臺；

所述接口塊從載置在所述第2載具載置臺上的所述載具取出襯底，并將所取出的襯底輸送到所述另一端側的處理塊，

所述另一端側的處理塊對從所述接口塊輸送來的襯底進行預先設定的處理，

所述接口塊將由所述另一端側的處理塊處理后的襯底搬出到所述外部裝置，

所述接口塊從所述外部裝置搬入襯底，且將由所述外部裝置處理后的襯底輸送到所述另一端側的處理塊，

所述另一端側的處理塊將由所述外部裝置處理后的襯底輸送到所述一端側的處理塊，

所述一端側的處理塊對從所述另一端側的處理塊輸送來的襯底進行預先設定的處理，

所述裝載塊將由所述一端側的處理塊處理后的襯底移回到載置在所述第1載具載置臺上的所述載具。