[發(fā)明專利]電子加速器濺射離子泵的溫度保護(hù)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911282043.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN110838430A
• 公開（公告）日: 2020-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張凱;胡千一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇藍(lán)安信息科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J41/12
• 分類號(hào): H01J41/12
• 代理公司: 南通毅帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32386
• 代理人: 韓冬

本發(fā)明公開了電子加速器濺射離子泵的溫度保護(hù)裝置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之間固定安裝有離子泵泵體，所述離子泵泵體左端和右端軍固定安裝有一組溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述上固定板上端中部固定安裝有進(jìn)氣口，且進(jìn)氣口下端與離子泵泵體內(nèi)部相通，所述進(jìn)氣口上端固定連接有真空法蘭，所述進(jìn)氣口外表面左部上側(cè)固定安裝有陽(yáng)極引線。本發(fā)明所述的電子加速器濺射離子泵的溫度保護(hù)裝置，通過設(shè)置溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)，當(dāng)離子泵泵體溫度超過控制器設(shè)置的最高溫度時(shí)，控制器控制切斷開關(guān)將離子泵泵體的電源切斷，保護(hù)離子泵泵體，通過設(shè)置循環(huán)降溫裝置，在離子泵泵體運(yùn)行時(shí)吸收其產(chǎn)生的溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及加速離子泵設(shè)備用品領(lǐng)域，特別涉及電子加速器濺射離子泵的溫度保護(hù)裝置。

背景技術(shù)

濺射離子泵是超高真空獲得系統(tǒng)中使用最多的一種真空泵，特點(diǎn)是清潔無油、極限真空度高、運(yùn)行過程中無機(jī)械振動(dòng)，其原理是利用高壓電場(chǎng)將氣體分子電離，帶正電的氣體離子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下螺旋加速運(yùn)動(dòng)撞擊在鈦板上發(fā)生濺射并被吸收，電子加速器的運(yùn)行離不開真空技術(shù)，其核心部件加速管是一個(gè)高真空部件，其真空的獲得和維護(hù)都依賴于離子泵，并且加速管工作穩(wěn)定需要恒溫水系統(tǒng)，需控制加速管溫度變化范圍±0.5℃，正常情況下，離子泵的殼體溫度與室溫基本一致，如果離子泵殼體溫度逐漸高于室溫，說明其負(fù)載加大，真空有泄露，如果溫度過高，應(yīng)立即關(guān)斷離子泵電源以免對(duì)離子泵造成破壞，離子泵的殼體溫度可以直接反映離子泵的工作狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供電子加速器濺射離子泵的溫度保護(hù)裝置，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案為：

電子加速器濺射離子泵的溫度保護(hù)裝置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之間固定安裝有離子泵泵體，所述離子泵泵體左端和右端軍固定安裝有一組溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述上固定板上端中部固定安裝有進(jìn)氣口，且進(jìn)氣口下端與離子泵泵體內(nèi)部相通，所述進(jìn)氣口上端固定連接有真空法蘭，所述進(jìn)氣口外表面左部上側(cè)固定安裝有陽(yáng)極引線。

優(yōu)選的，所述溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)包括保護(hù)外殼，所述保護(hù)外殼內(nèi)腔靠近離子泵泵體的一端側(cè)壁中部和四側(cè)分別固定安裝有溫度感應(yīng)器和循環(huán)降溫裝置，所述保護(hù)外殼內(nèi)腔底壁中部固定安裝有控制器，所述控制器與溫度感應(yīng)器電性連接，所述控制器上端中部固定安裝有切斷開關(guān)，所述切斷開關(guān)與離子泵泵體電性連接，所述溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)通過保護(hù)外殼與離子泵泵體固定連接在一起。

優(yōu)選的，所述循環(huán)降溫裝置包括儲(chǔ)水倉(cāng)，所述儲(chǔ)水倉(cāng)左右兩側(cè)分別固定安裝有循環(huán)泵機(jī)和冷凝器，所述循環(huán)泵機(jī)和冷凝器下端共同固定連接有循環(huán)水管，且述循環(huán)泵機(jī)和冷凝器均與控制器電性連接，所述循環(huán)降溫裝置通過儲(chǔ)水倉(cāng)固定安裝在保護(hù)外殼的內(nèi)腔側(cè)壁上。

優(yōu)選的，所述離子泵泵體包括離子泵外殼，所述離子泵外殼內(nèi)腔底壁中部固定安裝有陽(yáng)極組件，所述離子泵外殼內(nèi)腔左壁和右壁均固定連接有一組陰極板，所述離子泵外殼外部左端和右端軍固定連接有一組永磁體，所述永磁體遠(yuǎn)離離子泵外殼的一端均固定連接有一組軟鐵，所述離子泵泵體通過離子泵外殼分別與下固定板和上固定板固定連接在一起。

優(yōu)選的，所述陽(yáng)極引線右端與進(jìn)氣口內(nèi)腔相通，且陽(yáng)極引線下端穿插過上固定板與離子泵泵體內(nèi)部相連通。

優(yōu)選的，所述下固定板前端中部固定連接有固定豎板，所述固定豎板通過螺栓將上固定板與下固定板固定連接在一起。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下有益效果：

1、通過設(shè)置溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)，在溫度保護(hù)機(jī)構(gòu)中設(shè)置有保護(hù)外殼、溫度感應(yīng)器、循環(huán)降溫裝置、控制器和切斷開關(guān)，溫度感應(yīng)器感應(yīng)離子泵泵體的溫度，將實(shí)時(shí)溫度傳達(dá)給控制器，控制器設(shè)置有相應(yīng)的溫度范圍，當(dāng)溫度感應(yīng)器傳達(dá)的溫度較高時(shí)，控制器控制循環(huán)降溫裝置給離子泵泵體進(jìn)行降溫，當(dāng)離子泵泵體溫度超過控制器設(shè)置的最高溫度時(shí)，控制器控制切斷開關(guān)將離子泵泵體的電源切斷，保護(hù)離子泵泵體。