[發明專利]電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置

在審

• 申請號: 201911282043.2
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN110838430A
• 公開（公告）日: 2020-02-25
• 發明（設計）人: 張凱;胡千一
• 申請（專利權）人: 江蘇藍安信息科技有限公司
• 主分類號: H01J41/12
• 分類號: H01J41/12
• 代理公司: 南通毅帆知識產權代理事務所(普通合伙) 32386
• 代理人: 韓冬

1.電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，包括下固定板(1)和上固定板(2)，其特征在于：所述下固定板(1)和上固定板(2)之間固定安裝有離子泵泵體(3)，所述離子泵泵體(3)左端和右端軍固定安裝有一組溫度保護機構(4)，所述上固定板(2)上端中部固定安裝有進氣口(6)，且進氣口(6)下端與離子泵泵體(3)內部相通，所述進氣口(6)上端固定連接有真空法蘭(8)，所述進氣口(6)外表面左部上側固定安裝有陽極引線(7)。

2.根據權利要求1所述的電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，其特征在于：所述溫度保護機構(4)包括保護外殼(41)，所述保護外殼(41)內腔靠近離子泵泵體(3)的一端側壁中部和四側分別固定安裝有溫度感應器(42)和循環降溫裝置(43)，所述保護外殼(41)內腔底壁中部固定安裝有控制器(44)，所述控制器(44)與溫度感應器(42)電性連接，所述控制器(44)上端中部固定安裝有切斷開關(45)，所述切斷開關(45)與離子泵泵體(3)電性連接，所述溫度保護機構(4)通過保護外殼(41)與離子泵泵體(3)固定連接在一起。

3.根據權利要求2所述的電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，其特征在于：所述循環降溫裝置(43)包括儲水倉(434)，所述儲水倉(434)左右兩側分別固定安裝有循環泵機(431)和冷凝器(433)，所述循環泵機(431)和冷凝器(433)下端共同固定連接有循環水管(432)，且述循環泵機(431)和冷凝器(433)均與控制器(44)電性連接，所述循環降溫裝置(43)通過儲水倉(434)固定安裝在保護外殼(41)的內腔側壁上。

4.根據權利要求1所述的電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，其特征在于：所述離子泵泵體(3)包括離子泵外殼(31)，所述離子泵外殼(31)內腔底壁中部固定安裝有陽極組件(34)，所述離子泵外殼(31)內腔左壁和右壁均固定連接有一組陰極板(35)，所述離子泵外殼(31)外部左端和右端軍固定連接有一組永磁體(33)，所述永磁體(33)遠離離子泵外殼(31)的一端均固定連接有一組軟鐵(32)，所述離子泵泵體(3)通過離子泵外殼(31)分別與下固定板(1)和上固定板(2)固定連接在一起。

5.根據權利要求1所述的電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，其特征在于：所述陽極引線(7)右端與進氣口(6)內腔相通，且陽極引線(7)下端穿插過上固定板(2)與離子泵泵體(3)內部相連通。

6.根據權利要求1所述的電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，其特征在于：所述下固定板(1)前端中部固定連接有固定豎板(5)，所述固定豎板(5)通過螺栓將上固定板(2)與下固定板(1)固定連接在一起。