[發明專利]分離型等離子體源線圈及其控制方法在審
| 申請號： | 201911279282.2 | 申請日： | 2019-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN112242288A | 公開（公告）日： | 2021-01-19 |
| 發明（設計）人： | 李相雨 | 申請（專利權）人： | 自適應等離子體技術公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 崔龍鉉;李新娜 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分離 等離子體 線圈 及其 控制 方法 | ||
1.一種分離型等離子體源線圈，其特征在于，包括：
中心線圈組(11)，設置在線圈中心(13)的外圍，并且由至少一個線型中心線圈(11_1至11_K)組成；以及
邊緣線圈組(12)，設置在中心線圈組(11)的外圍，并且由至少一個線型邊緣線圈(12_1至12_L)組成，
可同時或單獨調節中心線圈組(11)和邊緣線圈組(12)的或高度。
2.根據權利要求1所述的分離型等離子體源線圈，其特征在于，
至少一個線型中心線圈(11_1至11_K)或至少一個線型邊緣線圈(12_1至12_L)延伸為螺旋形狀。
3.根據權利要求2所述的分離型等離子體源線圈，其特征在于，
至少一個線型中心線圈(11_1至11_K)或至少一個線型邊緣線圈(12_1至12_L)的延伸為螺旋形狀的圓周角為270度以上。
4.根據權利要求1所述的分離型等離子體源線圈，其特征在于，
包括至少一個調節裝置(33a、33b、34a、34b)，所述至少一個調節裝置用于調節中心線圈組(11)或邊緣線圈組(12)的高度或傾斜度。
5.一種等離子體源線圈的控制方法，包括以下步驟：
將分別由多個線圈組成的第一線圈組和第二線圈組設置在一個平面上；
在基準面探測通過第一線圈組和第二線圈組產生的等離子體的密度；以及
調節第一線圈組或第二線圈組的傾斜度或高度。
6.根據權利要求5所述的分離型等離子體源線圈的控制方法，其特征在于，
可單獨調節第一線圈組和第二線圈組。
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