[發明專利]晶圓映射傳感器的安裝機構

在審

• 申請號: 201911277168.6
• 申請日: 2019-12-12
• 公開（公告）號: CN110854050A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 劉洪亮;盧俊男;梁明亮
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G01N21/95
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 譚云

1.一種晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，包括：

軸承座組件，包括軸承座板和沿所述軸承座板的寬度方向設于所述軸承座板的下表面的直線滑軌，所述軸承座板位于所述直線滑軌的兩側分別設有一安裝孔；

推板，所述推板設有沿其長度方向延伸并朝向其寬度方向傾斜的斜槽；

驅動機構，所述驅動機構連接在所述推板位于長度方向的一端；

滑塊，固設有第一連接軸，所述第一連接軸遠離所述滑塊的一端設有第一輥輪，所述滑塊通過所述第一輥輪安裝在所述斜槽中，所述滑塊與所述直線滑軌滑動連接，所述滑塊位于其長度方向的兩端分設有沿其長度方向延伸的長槽孔；

一對驅動轉臂組件，每個所述驅動轉臂組件包括驅動轉臂，所述驅動轉臂設有轉動端和安裝端，所述轉動端固設有第二連接軸，所述第二連接軸遠離所述驅動轉臂的一端設有第二輥輪，所述驅動轉臂通過對應的所述第二輥輪安裝在所述滑塊的長槽孔中；

一對轉軸組件；

一對安裝轉臂，每個所述安裝轉臂包括轉動端和安裝端，所述安裝轉臂的轉動端通過所述轉軸組件與所述驅動轉臂的安裝端連接，所述安裝轉臂的安裝端用于安裝傳感器。

2.根據權利要求1所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述轉軸組件包括轉軸和固定套設在所述轉軸上的軸承，所述軸承的上端設有軸承端蓋，所述軸承端蓋的內周擋設在所述軸承的外圈處，所述轉軸靠近所述軸承端蓋的一端與所述安裝轉臂的轉動端固定連接；所述轉軸靠近所述軸承的一端與所述驅動轉臂的安裝端固定連接，所述軸承的外圈固定在所述軸承座板的安裝孔中。

3.根據權利要求2所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述驅動轉臂的安裝端設有安裝座，所述轉軸靠近所述軸承的一端固定插裝在所述安裝座中。

4.根據權利要求1所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述軸承座板朝向晶圓所在區域的一側分別設有用于所述安裝轉臂限位的限位柱。

5.根據權利要求1所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述安裝轉臂用于安裝所述傳感器的一端設為朝向晶圓所在區域彎折的彎折段。

6.根據權利要求1所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述滑塊上的長槽孔為與所述驅動轉臂的端部連通的開口槽，所述第二輥輪的外表面與所述開口槽的內壁面相切。

7.根據權利要求1所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述第一輥輪和第二輥輪均為滾動軸承。

8.根據權利要求2所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述驅動機構通過支撐座安裝在所述軸承座板的下表面，所述驅動機構的長度方向沿所述軸承座板的長度方向。

9.根據權利要求8所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，所述驅動機構為驅動氣缸，所述驅動氣缸外罩設有護罩。

10.根據權利要求1所述的晶圓映射傳感器的安裝機構，其特征在于，一對所述安裝孔關于所述直線滑軌的軸線呈中心對稱設置；

所述推板包括水平板和設于所述水平板一側的豎直板，所述斜槽設于所述水平板，所述驅動機構與所述豎直板連接。