[發(fā)明專利]液體供應(yīng)組件以及晶圓處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911275184.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN111326453B
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸英植
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夏泰鑫半導(dǎo)體（青島）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 彭輝劍;龔慧惠

本發(fā)明提供了一種液體供應(yīng)組件。液體供應(yīng)組件包括接收部分、分散部分和兩個(gè)流量控制器。所述兩個(gè)流量控制器連接在接收部分和分散部分之間。分散部分上形成了多個(gè)穿孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種晶圓處理系統(tǒng)，尤其涉及一種控制蝕刻劑在蝕刻槽中的分散的晶圓處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體晶圓蝕刻中，蝕刻速率定義為每單位時(shí)間在晶圓上的蝕刻深度，蝕刻均勻性指示晶圓上蝕刻速率的變化。對(duì)于濕蝕刻，晶圓浸泡在充滿蝕刻劑的蝕刻槽中；濕蝕刻的蝕刻均勻性可能受到溫度、濃度和蝕刻劑的其他因素的影響。較差的蝕刻均勻性將對(duì)所得晶圓的質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響。

發(fā)明內(nèi)容

以下呈現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例的概述，以便提供對(duì)本發(fā)明至少一些例子的基本理解。該概述不是本發(fā)明內(nèi)容的廣泛概述。其目的不是為了識(shí)別本公開的關(guān)鍵或關(guān)鍵要素，也不是為了描繪本公開的范圍。以下概述僅以一般形式呈現(xiàn)本公開的一些概念，作為以下提供的更詳細(xì)描述的序言。

在一個(gè)示例中，液體供應(yīng)組件包括接收部分、分散部分和兩個(gè)流量控制器。所述兩個(gè)流量控制器連接在接收部分和分散部分之間。分散部分上形成了多個(gè)穿孔。

在另一示例中，晶圓處理系統(tǒng)包括晶圓處理容器和液體供應(yīng)組件。液體供應(yīng)組件被配置為將液體分散在晶圓處理容器中。液體供應(yīng)組件包括接收部分、分散部分和兩個(gè)流量控制器。所述兩個(gè)流量控制器連接在接收部分和分散部分之間。分散部分上形成了多個(gè)穿孔。

在另一個(gè)示例中，提供了一種用于在晶圓處理容器中供應(yīng)液體的方法。該方法包括步驟：提供包括接收部分、分散部分和兩個(gè)流量控制器的液體供應(yīng)組件，其中在分散部分上形成多個(gè)穿孔；以及對(duì)兩個(gè)流量控制器執(zhí)行操作。

在下面的附圖和描述中闡述一個(gè)或多個(gè)示例的細(xì)節(jié)。

附圖說(shuō)明

附圖說(shuō)明了本公開的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，并且與書面描述一起解釋了本發(fā)明的原理。在可能的情況下，貫穿附圖使用相同的附圖標(biāo)記來(lái)指定實(shí)施例的相同或相似的元件。

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的液體供應(yīng)組件的俯視圖。

圖2是具有圖1中的液體供應(yīng)組件的晶圓處理系統(tǒng)的側(cè)視圖。

圖3是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的具有以第一模式操作的液體供應(yīng)組件的晶圓處理系統(tǒng)的俯視圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的具有以第二模式操作的液體供應(yīng)組件的晶圓處理系統(tǒng)的俯視圖。

圖5是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的具有以第一模式操作的一對(duì)液體供應(yīng)設(shè)備的晶圓處理系統(tǒng)的俯視圖。

圖6是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的具有以第二模式操作的一對(duì)液體供應(yīng)設(shè)備的晶圓處理系統(tǒng)的俯視圖。

具體實(shí)施方式

為了便于理解本發(fā)明的各種實(shí)施例的原理和特征，下面解釋各種說(shuō)明性實(shí)施例。雖然詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，但是應(yīng)當(dāng)理解，還可以考慮其他實(shí)施例。因此，本發(fā)明并不意在其范圍限于在以下描述中闡述或在附圖中說(shuō)明的組件的排列和構(gòu)造的細(xì)節(jié)。本發(fā)明能夠使用其他實(shí)施例，并且能夠以各種方式進(jìn)行實(shí)踐或?qū)崿F(xiàn)。

圖1示出了本發(fā)明的一實(shí)施例的液體供應(yīng)組件100的俯視圖。液體供應(yīng)組件100包括接收部分111、分散部分112、第一流量控制器141、第二流量控制器142和噴嘴130。分散部分112可以是一根管子或一個(gè)筒。液體供應(yīng)組件100的整體形狀可以是矩形、圓形、橢圓形或八角形。第一流量控制器141和第二流量控制器142中的每一個(gè)都包含一個(gè)閥。接收部分111被配置為連接到第一流控制器141和第二流控制器142的端口。接收部分112被配置為連接到第一流控制器141和第二流控制器142的端口。換句話說(shuō)，接收部分111和分散部分112由第一流控制器141和第二流控制器142分開。