[發明專利]供電構造和等離子體處理裝置在審
| 申請號： | 201911273973.1 | 申請日： | 2019-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN111326397A | 公開（公告）日： | 2020-06-23 |
| 發明（設計）人： | 佐佐木康晴;內田陽平 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 供電 構造 等離子體 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種供電構造，其具備：
第1連接構件組，其由多個連接構件構成，該多個連接構件以對配置于等離子體處理裝置用的處理容器內的聚焦環施加偏置電位的方式沿著所述聚焦環的周向配置；以及
第1端子區域，其為環狀，該第1端子區域與多個所述連接構件電連接起來。
2.根據權利要求1所述的供電構造，其中，
所述第1端子區域與施加固定電位的所述處理容器的內壁面分開地配置。
3.根據權利要求1或2所述的供電構造，其中，
該供電構造具備：
第2端子區域，其為環狀，該第2端子區域與所述第1端子區域分開，并與所述第1端子區域電連接起來；以及
第2連接構件組，其由與所述第1端子區域和所述第2端子區域連接的多個連接構件構成。
4.根據權利要求3所述的供電構造，其中，
所述第1連接構件組的連接構件的位置與所述第2連接構件組的連接構件的位置在俯視時沿著所述聚焦環的周向偏離。
5.一種等離子體處理裝置，其具備權利要求1～4中任一項所述的供電構造。
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