[發(fā)明專利]化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物及其應(yīng)用

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911267123.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN111381442A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉騏銘;施俊安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奇美實(shí)業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/039
• 分類號(hào): G03F7/039;G03F7/004
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 孫磊;壽寧

本發(fā)明提供一種化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其包括樹脂(A)、光酸產(chǎn)生劑(B)、溶劑(C)以及含不飽和基的聚氨酯化合物(D)。本發(fā)明更包括應(yīng)用此化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物所制得的保護(hù)膜，及包括此保護(hù)膜的組件。此保護(hù)膜具有良好的顯影密著性及透明性，且可應(yīng)用于薄膜晶體管基板用平坦化膜、層間絕緣膜或光波導(dǎo)路的芯材或包覆材。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物、由其形成的保護(hù)膜及具有保護(hù)膜的組件。其中，特別是提供一種曝光、顯影后形成的具有顯影密著性佳、透明性佳等特性的保護(hù)膜用正型感光性樹脂組成物。此保護(hù)膜適用于液晶顯示組件、有機(jī)EL顯示組件等的薄膜晶體管(Thin Film Transistor；TFT)基板用平坦化膜、層間絕緣膜或光波導(dǎo)路的芯材或包覆材。

背景技術(shù)

薄膜晶體管型液晶顯示組件或有機(jī)電致發(fā)光組件(organicelectroluminescence device，有機(jī)EL組件)等顯示組件，通常包括層間絕緣膜或平坦化膜等絕緣膜。此種絕緣膜通常使用感放射線性組成物來形成。就圖案化性能的觀點(diǎn)而言，習(xí)知多使用利用萘醌二疊氮化物(naphthoquinone diazide)等酸產(chǎn)生劑的正型感放射線性樹脂組成物(參照日本專利特開2001-354822號(hào)公報(bào))，做為此種感放射線性組成物，但近年來提出了多種感放射線性組成物。

舉例而言，提出了一種正型化學(xué)增幅材料，其目的在于：以較使用萘醌二疊氮化物等酸產(chǎn)生劑的前述正型感放射線性樹脂組成物具有更高的感度，來形成顯示組件用的硬化膜(參照日本專利特開2004-4669號(hào)公報(bào))。所述正型化學(xué)增幅材料含有交聯(lián)劑、酸產(chǎn)生劑及酸解離性樹脂。酸解離性樹脂具有可利用酸的作用而解離的保護(hù)基，雖酸解離性樹脂本身不溶或者難溶于堿性水溶液中，但通過利用酸的作用，使保護(hù)基解離而變得可溶于堿性水溶液中。另外，也提出了含有具有縮醛結(jié)構(gòu)及/或縮酮結(jié)構(gòu)以及環(huán)氧基的樹脂及酸產(chǎn)生劑的正型感放射線性組成物(參照日本專利特開2004-264623號(hào)公報(bào)、日本專利特開2011-215596號(hào)公報(bào)以及日本專利特開2008-304902號(hào)公報(bào))。

這些感放射線性樹脂組成物中，除了高放射線感度以外，還需要求即便長(zhǎng)期保存，黏度也不會(huì)變化的保存穩(wěn)定性，進(jìn)而使這些感放射線性樹脂組成物形成的硬化膜，可達(dá)到不因顯影液等而膨潤(rùn)的耐化性。進(jìn)而，所述硬化膜形成的圖案也可達(dá)到：在顯影后，圖案與基板充分密合而難以剝離；硬化膜具有足夠的透明性；以及，即便在曝光后進(jìn)行放置的情況下，圖案也與基板充分密合而難以剝離。

然而，目前的感光性樹脂組成物的所形成的硬化膜(或稱保護(hù)膜)的顯影密著性和透明性，仍無法令業(yè)界所接受。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)態(tài)樣在于提出一種化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物。在一些實(shí)施例中，此化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物可包含樹脂(A)、光酸產(chǎn)生劑(B)、溶劑(C)和含不飽和基的聚氨酯化合物(D)，以下詳述之。

樹脂(A)

樹脂(A)是由混合物所共聚合而得。在一些實(shí)施例中，此混合物至少包括不飽和羧酸單體(a-1)以及含酸解離性基的單體(a-2)。

不飽和羧酸單體(a-1)

本發(fā)明的不飽和羧酸單體(a-1)是指包含羧酸基或羧酸酐結(jié)構(gòu)及聚合結(jié)合用的不飽和鍵的化合物，其結(jié)構(gòu)并無特別限制，可包括但不限于不飽和單羧酸化合物、不飽和二羧酸化合物、不飽和酸酐化合物、多環(huán)型不飽和羧酸化合物、多環(huán)型不飽和二羧酸化合物、多環(huán)型不飽和酸酐化合物。

前述不飽和單羧酸化合物的具體例如：(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯、omega-羧基聚己內(nèi)酯多元醇單丙烯酸酯(商品名為ARONIX M-5300，東亞合成制)。