[發(fā)明專利]化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物及其應(yīng)用

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• 申請日: 2019-12-11
• 公開（公告）號: CN111381442A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉騏銘;施俊安
• 申請（專利權(quán)）人: 奇美實(shí)業(yè)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 孫磊;壽寧

1.一種化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物包括：

樹脂(A)，由混合物共聚合而得，該混合物包括不飽和羧酸單體(a-1)以及含酸解離性基的單體(a-2)；

光酸產(chǎn)生劑(B)；

溶劑(C)；以及

含不飽和基的聚氨酯化合物(D)，其中該含不飽和基的聚氨酯化合物(D)的重量平均分子量為3500至30000。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該含不飽和基的聚氨酯化合物(D)的重量平均分子量為4000至20000。

3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該含不飽和基的聚氨酯化合物(D)的重量平均分子量為4500至10000。

4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該含不飽和基的聚氨酯化合物(D)的每一分子具有至少六個不飽和基。

5.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該含不飽和基的聚氨酯化合物(D)的每一分子具有至少九個不飽和基。

6.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該酸解離性基具有如下式(I)所示的結(jié)構(gòu)：

于該式(I)中，該R1和該R2各自獨(dú)立為氫原子、烷基、脂環(huán)式烴基或芳基，其中該烷基、該脂環(huán)式烴基或該芳基所具有的氫原子的一部分或全部可被取代；而且，該R1及該R2不同時(shí)為氫原子；該R3為烷基、脂環(huán)式烴基、芳烷基或者芳基；其中該R3的該烷基、該脂環(huán)式烴基、該芳烷基及該芳基所具有的氫原子的一部分或全部可被取代；該R1與該R3可相互鍵結(jié)而與該R1所鍵結(jié)的碳原子以及該R3所鍵結(jié)的氧原子一起形成環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該混合物包括含環(huán)氧基的不飽和單體(a-3)。

8.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該光酸產(chǎn)生劑(B)為含式(Ⅲ)所示的肟磺酸酯基的化合物：

于該式(Ⅲ)中，該R10為碳數(shù)為1至20的烷基、脂環(huán)式烴基、芳基，或是上述基團(tuán)所具有的氫原子被部分或全部取代的基團(tuán)；以及，該*為鍵結(jié)處。

9.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，基于該樹脂(A)的使用量為100重量份，該光酸產(chǎn)生劑(B)的使用量為0.1重量份至10重量份，該溶劑(C)的使用量為200重量份至2000重量份，以及該含不飽和基的聚氨酯化合物(D)的使用量為1重量份至20重量份。

10.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，基于該混合物的使用量為100重量份，該不飽和羧酸單體(a-1)的使用量為5重量份至95重量份，以及該含酸解離性基的單體(a-2)的使用量為5重量份至95重量份。

11.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物，其特征在于，基于該混合物的使用量為100重量份，該含環(huán)氧基的不飽和單體(a-3)的使用量為5重量份至90重量份。

12.一種保護(hù)膜，其特征在于，該保護(hù)膜是將如權(quán)利要求1至11的任一項(xiàng)所述的化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組成物涂布于一基材上，再經(jīng)預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處理后所形成。

13.一種具有保護(hù)膜的組件，其特征在于，該具有保護(hù)膜的組件包含一基材以及如權(quán)利要求12所述的一保護(hù)膜。