[發明專利]一種基于PDMS的柔性光柵的制作方法及裝置

有效

• 申請號: 201911257076.1
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN111025445B
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 賴厚湖;林慧;袁長友;馬翠;余明
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 北京市誠輝律師事務所 11430
• 代理人: 范盈

1.一種柔性光柵的制作裝置，其特征在于，包括底座(1)，不銹鋼環(2)和不銹鋼圈(3)，所述不銹鋼環(2)、不銹鋼圈(3)和底座(1)之間相互獨立且互不相連，所述底座上設有凹槽(4)，所述凹槽(4)用于放置母光柵，所述不銹鋼圈(3)包括第一不銹鋼圈(31)和第二不銹鋼圈(32)，所述不銹鋼環(2)、第一不銹鋼圈(31)和第二不銹鋼圈(32)均位于底座(1)的上方、凹槽(4)的外側并將凹槽(4)均勻包圍，所述第一不銹鋼圈(31)與不銹鋼環(2)的內側相鄰，所述第二不銹鋼圈(32)與不銹鋼環(2)的外側相鄰，所述第一不銹鋼圈(31)和第二不銹鋼圈(32)的高度均大于不銹鋼環(2)的厚度。

2.根據權利要求1所述的柔性光柵的制作裝置，其特征在于，所述底座(1)上設有螺紋孔(5)，所述螺紋孔(5)內設有與其相匹配的螺紋棒(6)，所述螺紋棒(6)與螺紋孔(5)相匹配后螺紋棒(6)剩余的高度大于不銹鋼圈(3)的高度，所述不銹鋼環(2)上設有與螺紋棒(6)相匹配的第一通孔(7)，所述不銹鋼環(2)通過螺紋棒(6)固定于底座(1)上方。

3.根據權利要求1所述的柔性光柵的制作裝置，其特征在于，所述凹槽(4)的底端設有至少兩個第二通孔(8)且對稱分布，所述第二通孔(8)不位于凹槽(4)的中心。

4.根據權利要求1-3任一所述的柔性光柵的制作裝置，其特征在于，所述凹槽(4)為正方形。

5.根據權利要求4所述的柔性光柵的制作裝置，其特征在于，所述正方形凹槽(4)的四個頂點處分別設有與凹槽(4)相通的圓孔(9)，所述圓孔(9)與凹槽(4)同深。

6.根據權利要求2所述的柔性光柵的制作裝置，其特征在于，所述凹槽(4)為正方形，所述螺紋孔(5)的個數為四個，四個所述螺紋孔(5)分別與正方形凹槽(4)四邊的中點相對應設置。

7.使用權利要求1所述的裝置制作基于PDMS的柔性光柵的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將母光柵放入凹槽(4)中，然后將凹槽(4)與母光柵間的縫隙覆蓋；

步驟2：配置PDMS溶液：將道康寧184膠的主劑和固化劑按質量比為10:1的比例混合，所需用量的PDMS溶液均分為四次以上配制，并使其完全混合均勻；

步驟3：將混合均勻的PDMS溶液放入真空箱中，抽真空，使PDMS溶液中的氣泡完全抽出，得到沒有氣泡無色透明的PDMS溶液；

步驟4：旋涂，將PDMS溶液均勻旋涂在整個底座(1)上；

步驟5：將不銹鋼環(2)放到相應的位置上，向下壓在步驟4旋涂有一定厚度PDMS的上方；

步驟6：將第一不銹鋼圈(31)和第二不銹鋼圈(32)放到相應的位置上，其底端貼在步驟4旋涂后的膜上；

步驟7：將PDMS溶液緩慢倒入第一不銹鋼圈(31)和第二不銹鋼圈(32)之間的區域，保證PDMS溶液完全覆蓋不銹鋼環(2)，同時不影響第一不銹鋼圈(31)范圍內的中間區域；

步驟8：將整個裝置放入95℃的真空加熱箱中固化3小時；

步驟9：揭膜。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述步驟3中抽真空的負壓為0.8Mpa。