[發(fā)明專利]微影系統(tǒng)的預(yù)防維修操作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911257046.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN112415857A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 涂時(shí)雨;張漢龍;張曉倫;陳立銳;鄭博中
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

本案提供一種微影系統(tǒng)的預(yù)防維修操作方法，包括以下步驟：將金屬液滴從液滴產(chǎn)生器的儲(chǔ)蓄器噴向收集器前方的激發(fā)區(qū)，將激發(fā)激光朝向激發(fā)區(qū)發(fā)射，使得金屬液滴通過激發(fā)激光加熱以生成極紫外(EUV)輻射，停止激發(fā)激光的發(fā)射，使液滴產(chǎn)生器的儲(chǔ)蓄器減壓，使液滴產(chǎn)生器冷卻至不低于約150℃的溫度，以及在不低于約150℃的溫度下用固體金屬材料回填液滴產(chǎn)生器的儲(chǔ)蓄器。

技術(shù)領(lǐng)域

本揭露的實(shí)施例大致關(guān)于極紫外光微影方法。更特別地，本揭露關(guān)于微影系統(tǒng)的預(yù)防維修方法，以回填液滴產(chǎn)生器及用另一液滴產(chǎn)生器替換極紫外光微影工具中的液滴產(chǎn)生器。

背景技術(shù)

根據(jù)消費(fèi)者需求，消費(fèi)者裝置已經(jīng)變得愈來愈小，此些裝置的各個(gè)部件的大小也必然減小。組成諸如移動(dòng)電話、電腦平板等裝置的主要部件的半導(dǎo)體裝置已經(jīng)被迫使變得愈來愈小，其中半導(dǎo)體裝置內(nèi)的各個(gè)元件(例如，晶體管、電阻器、電容器等)亦被相應(yīng)迫使隨之尺寸減小。裝置尺寸的減小已經(jīng)滿足諸如微影術(shù)的半導(dǎo)體制造技術(shù)的進(jìn)步。

舉例而言，用于微影術(shù)的輻射波長已經(jīng)從紫外光減小至深紫外光(deepultraviolet；DUV)，并且更接近至極紫外光(extreme ultraviolet；EUV)。部件尺寸的進(jìn)一步減小需要進(jìn)一步改進(jìn)微影術(shù)的解析度，其可利用極紫外光微影術(shù)(extreme ultravioletlithography；EUVL)實(shí)現(xiàn)。EUVL使用具有約1-100nm的波長的輻射。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例，一種方法包括以下步驟：將金屬液滴從液滴產(chǎn)生器的儲(chǔ)蓄器噴射向收集器前方的激勵(lì)區(qū)，將激勵(lì)激光朝向激勵(lì)區(qū)發(fā)射，使得金屬液滴通過激勵(lì)激光加熱以生成極紫外(EUV)輻射，停止激勵(lì)激光的發(fā)射，使液滴產(chǎn)生器的儲(chǔ)蓄器減壓，使液滴產(chǎn)生器冷卻至不低于約150℃的溫度，以及在不低于約150℃的溫度下用固體金屬材料回填液滴產(chǎn)生器的儲(chǔ)蓄器。

附圖說明

當(dāng)結(jié)合附圖閱讀時(shí)，根據(jù)以下詳細(xì)描述可更好地理解本揭露的態(tài)樣。應(yīng)注意，根據(jù)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，各種特征未按比例繪制。事實(shí)上，為論述清楚，各特征的尺寸可任意地增加或縮小。

圖1為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的微影系統(tǒng)的示意圖；

圖2為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的EUV輻射源的示意圖；

圖3為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖4為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的用于回填液滴產(chǎn)生器組件的機(jī)械臂的示意圖；

圖5為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖6為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖7為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖8為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖9為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例預(yù)防維修(prevention maintenance；PM)操作的方法；

圖10為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的PM操作的方法；

圖11為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖12為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖13為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖14為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器組件的示意圖；

圖15為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的PM操作的方法；

圖16A及圖16B為根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

【符號(hào)說明】