[發(fā)明專利]微影系統(tǒng)的預(yù)防維修操作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911257046.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN112415857A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 涂時(shí)雨;張漢龍;張曉倫;陳立銳;鄭博中
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種微影系統(tǒng)預(yù)防維修操作方法，其特征在于，包括以下步驟：

將一金屬液滴從一液滴產(chǎn)生器的一儲(chǔ)蓄器噴向一收集器前方的一激發(fā)區(qū)；

將一激發(fā)激光朝向該激發(fā)區(qū)發(fā)射，使得該金屬液滴通過該激發(fā)激光加熱以生成極紫外(EUV)輻射；

停止該激發(fā)激光的該發(fā)射；

使該液滴產(chǎn)生器的該儲(chǔ)蓄器減壓；

將該液滴產(chǎn)生器冷卻至不低于約150℃的一溫度；以及

在不低于約150℃的該溫度下用一固體金屬材料回填該液滴產(chǎn)生器的該儲(chǔ)蓄器。