[發(fā)明專利]一種磁過(guò)濾管道

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911239897.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110747437A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖斌;歐陽(yáng)曉平;華青松;何衛(wèi)鋒;何光宇;羅軍;陳琳;張旭;吳先映;龐盼;韓然;英敏菊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京師范大學(xué);穩(wěn)力(廣東)科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32
• 代理公司: 11569 北京高沃律師事務(wù)所
• 代理人: 王立普

1.一種磁過(guò)濾管道，其特征在于：包括第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端與所述第二矩形管一端固定連接，所述第一矩形管另一端為磁過(guò)濾管道入口，所述磁過(guò)濾管道入口用于與陰極靶材法蘭相連接，所述第二矩形管另一端為磁過(guò)濾管道出口，所述磁過(guò)濾管道出口用于與真空室連接，所述第一矩形管和所述第二矩形管內(nèi)壁均設(shè)置有凸起和凹槽，所述凸起內(nèi)填充冷水。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述第一矩形管和所述第二矩形管均為紫銅管。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述凸起和所述凹槽的數(shù)量均為多個(gè)；所述凸起與所述凹槽間隔設(shè)置，任意相鄰的所述凸起與所述凹槽之間的間距為2～10mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述凸起的寬度為10～20mm，高度為2～10mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述凹槽的深度為2～5mm，寬度為10～15mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述磁過(guò)濾管道入口設(shè)置有密封圈。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：靠近所述磁過(guò)濾管道入口的所述第一矩形管上固定設(shè)置有正扇形繞線槽，靠近所述磁過(guò)濾管道出口的所述第二矩形管上固定設(shè)置有反扇形繞線槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：還包括入口段線包和出口段線包，所述入口段線包按照所述正扇形繞線槽繞制，所述出口段線包按照所述反扇形繞線槽繞制。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述正扇形繞線槽和所述反扇形繞線槽的發(fā)散角度均為0～40°。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁過(guò)濾管道，其特征在于：所述入口段線包和所述出口段線包均包括過(guò)渡線包和擴(kuò)展線包，所述過(guò)渡線包通入恒定直流電流，所述擴(kuò)展線包通入強(qiáng)脈沖電流。