[發(fā)明專利]阻焊線路一體曝光的多光譜數(shù)字化曝光工藝及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911232764.2
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN110806682A
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王瑞;徐珍華;杜衛(wèi)沖
• 申請（專利權(quán)）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京匯智勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11346
• 代理人: 石輝;趙立軍

本發(fā)明公開了一種阻焊線路一體曝光的多光譜數(shù)字化曝光工藝及系統(tǒng)，該工藝包括：步驟1，將主光源與組合光源各自輸出的不同波長的光譜進行合光處理，主光源輸出的光譜的波長為355nm和405nm，組合光源的光譜波長根據(jù)阻焊油墨的特性在340nm至420nm范圍內(nèi)確定，通過波長為355nm的光譜對阻焊油墨表層固化，通過波長為405nm的光譜對阻焊油墨內(nèi)部深層固化，通過組合光源輸出的光對阻焊油墨內(nèi)中層固化；步驟2，將組合光投射到數(shù)字微反射鏡上，經(jīng)由數(shù)字微反射鏡進行圖形調(diào)制，并將數(shù)字信號轉(zhuǎn)化成光信號，再通過寬光譜成像系統(tǒng)在曝光板上進行成像。本發(fā)明能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中由于單波長的激光直接曝光設(shè)備應(yīng)用到阻焊制程中而導(dǎo)致的阻焊板表面光澤度不夠和完全采用多個紫外LED多波長混合成像質(zhì)量不佳的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實施涉及對線路阻焊層進行數(shù)字化曝光(或光刻)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種阻焊線路一體曝光的多光譜數(shù)字化曝光工藝及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

電路板的光刻過程按照工藝制程可以分為：線路或字符層曝光、阻焊層曝光。其中，阻焊層即印刷電路板的表面的一層防焊層，用以防止線路板的表面出現(xiàn)氧化。阻焊層的制備傳統(tǒng)曝光工藝都是通過光源照在菲林表面曝光完成，光源一般是高壓汞燈或者陣列LED，其中光源的波長一般在350nm到410nm的范圍內(nèi)。當(dāng)前行業(yè)使用的阻焊材料也普遍在這個波長范圍感光效果較好，進而在曝光時進行很好的聚合固化，形成具有高光澤度的保護漆。

隨著PCB行業(yè)的不斷發(fā)展，不需要菲林模板的曝光方式正在廣泛地被使用，以取代傳統(tǒng)的模板曝光方式，這種方式為利用激光而進行的數(shù)字光刻。在線路制程上，涌現(xiàn)有大量的單波長激光數(shù)字光刻技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)品，在阻焊制程上，有LED數(shù)字光刻曝光技術(shù)及設(shè)備。

現(xiàn)有的線路制程曝光使用的數(shù)字光刻設(shè)備，利用激光進行直接繪圖，都使用405nm單波長半導(dǎo)體激光作為光源。而阻焊層制程上使用的感光材料，普遍需要使用350nm到410nm范圍內(nèi)的混合波長光源，如：傳統(tǒng)曝光過程使用的高壓汞燈(波長范圍為320nm到410nm)，多波長混合的LED陣列等。而單波長的激光直接曝光設(shè)備應(yīng)用到阻焊制程中，會導(dǎo)致所制成的阻焊板表面失去光澤度，達不到目前行業(yè)對阻焊的使用要求。除了采用405nm單波長半導(dǎo)體激光作為光源的方法，也有采用紫外多波長LED光源實現(xiàn)數(shù)字化曝光，但多個LED光合束，光學(xué)成像系統(tǒng)相對采用激光作為光源來說，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，光能的利用率低，成像面的聚深短，成像質(zhì)量差。

因此，希望有一種技術(shù)方案來克服或至少減輕現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷中的至少一個。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種阻焊線路一體曝光的多光譜數(shù)字化曝光工藝及系統(tǒng)來克服或至少減輕現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷中的至少一個。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種阻焊線路一體曝光的多光譜數(shù)字化曝光工藝，該工藝包括：

步驟1，將主光源與組合光源各自輸出的不同波長的光譜進行合光處理，獲得混合波長的組合光；其中，所述主光源輸出的光譜的波長為355nm和405nm，所述組合光源的光譜波長是根據(jù)阻焊油墨的特性在340nm至420nm范圍內(nèi)確定，通過所述波長為355nm的光譜對所述阻焊油墨的表層進行固化，通過所述波長為405nm的光譜對所述阻焊油墨的內(nèi)部深層進行固化，通過所述組合光源輸出的光對所述阻焊油墨的內(nèi)部中層進行固化；所述合光處理具體包括：

步驟11，將所述主光源與所述組合光源輸出的光進行耦合處理；

步驟12，將步驟11耦合后得到的光進行勻光，得到近似平行的輸出光；

步驟13，將步驟12的輸出光進行整形，使其光斑的面積不小于數(shù)字微反射鏡的工作范圍；

步驟14，將步驟13的輸出光通過分光鏡改變方向后輸出；