[發(fā)明專利]多通道濾光片、高光譜掃描型探測(cè)器及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911232077.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110907035A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡長(zhǎng)虹;韓誠(chéng)山;薛旭成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01J3/28
• 分類號(hào): G01J3/28;G01J3/02;G01J3/12
• 代理公司: 長(zhǎng)春眾邦菁華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 22214
• 代理人: 王丹陽(yáng)

多通道濾光片、高光譜掃描型探測(cè)器及其制備方法涉及光譜成像技術(shù)領(lǐng)域，解決了濾光片帶外響應(yīng)高且有雜散光的問(wèn)題，濾光片包括條形基板，其上表面鍍有截止濾光膜，下表面鍍有像素級(jí)窄帶濾光膜，側(cè)面覆蓋有能抑制雜散光進(jìn)入條形基板的遮擋物；像素級(jí)窄帶濾光膜包括通道組；每個(gè)通道組包括多個(gè)條形單元通道，單元通道的長(zhǎng)度方向與條形基板長(zhǎng)度方向一致，通道組內(nèi)任意兩個(gè)單元通道對(duì)應(yīng)的波帶均不相同。高光譜掃描型探測(cè)器，包括集成濾光片和探測(cè)器，集成濾光片設(shè)置在探測(cè)器靶面上。其制作方法為先在探測(cè)器靶面上安裝多個(gè)鍍膜后條形基板，再制備遮擋物。本發(fā)明降低濾光片的帶外響應(yīng)且抑制了雜散光，提高高光譜成像效果，高光譜掃描型探測(cè)器制作簡(jiǎn)單。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光譜成像技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多通道濾光片、高光譜掃描型探測(cè)器及其制備方法。

背景技術(shù)

像素級(jí)多通道濾光片通常在視頻高光譜成像技術(shù)的應(yīng)用，是高光譜成像的核心元件。成像時(shí)入射光將分成不同譜段的單色光，并投射到探測(cè)器像元上完成光譜采樣?，F(xiàn)有的濾光片存在帶外響應(yīng)高且有雜散光影響成像，應(yīng)用在高光譜成像中的影響成像的分辨率和成像質(zhì)量，基于濾光片的探測(cè)器存在同樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種多通道濾光片、高光譜掃描型探測(cè)器及其制備方法。

本發(fā)明為解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下：

像素級(jí)掃描型低帶外響應(yīng)的多通道濾光片，包括條形基板，所述條形基板的上表面鍍有截止濾光膜，下表面鍍有像素級(jí)窄帶濾光膜，側(cè)面覆蓋有能抑制雜散光進(jìn)入條形基板的遮擋物；所述像素級(jí)窄帶濾光膜包括通道組，若所述通道組大于1組時(shí)，通道組沿條形基板寬度方向依次排列、依次連接；每個(gè)通道組包括多個(gè)條形單元通道，所有所述單元通道沿條形基板寬度方向依次排列，單元通道的長(zhǎng)度方向與條形基板長(zhǎng)度方向一致，通道組內(nèi)任意兩個(gè)單元通道對(duì)應(yīng)的波帶均不相同。

集成濾光片，包括多個(gè)所述的像素級(jí)掃描型低帶外響應(yīng)的多通道濾光片，多個(gè)多通道濾光片依次排列。

高光譜掃描型探測(cè)器，包括所述的集成濾光片和探測(cè)器，集成濾光片設(shè)置在探測(cè)器靶面上。

高光譜掃描型探測(cè)器的制作方法，包括如下步驟：

步驟一、在所述探測(cè)器靶面上安裝多個(gè)條形基板，所述條形基板的上表面鍍有截止濾光膜，下表面鍍有像素級(jí)窄帶濾光膜，所述截止濾光膜或像素級(jí)窄帶濾光膜連接探測(cè)器靶面；

步驟二、在所有所述條形基板的一端制備條形的第一遮擋物，所述第一遮擋物覆蓋所有條形基板的寬度的一個(gè)側(cè)面；在所有條形基板的另一端制備條形的第二遮擋物，所述第二遮擋物覆蓋所有條形基板的寬度的另一個(gè)側(cè)面；在條形基板之間制備條形的第三遮擋物，所述第三遮擋物覆蓋其兩側(cè)條形基板的長(zhǎng)度的一個(gè)側(cè)面；在位于邊緣的兩個(gè)條形基板的長(zhǎng)度的外側(cè)側(cè)面上制備條形的第四遮擋物，所述第四遮擋物覆蓋位于邊緣的兩個(gè)條形基板的長(zhǎng)度的外側(cè)側(cè)面，第一遮擋物、第二遮擋物、第三遮擋物和第四遮擋物共同抑制雜散光進(jìn)入條形基板，高光譜掃描型探測(cè)器制備完成。

本發(fā)明的有益效果是：

多通道濾光片突破傳統(tǒng)的多個(gè)橫向縱向排列的矩陣模塊，通過(guò)多個(gè)波段的條形單元通道能將經(jīng)過(guò)其的光線分成多種譜段，將多通道濾光片應(yīng)用在凝視成像裝置中，能大幅提高成像的分辨率，同時(shí)多通道濾光片兼顧制作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。多通道濾光片通過(guò)像素級(jí)窄帶濾光膜能夠應(yīng)用于高光譜成像中，通過(guò)截止濾光膜降低高光譜成像的帶外響應(yīng)，通過(guò)遮擋物抑制雜散光進(jìn)入條形基板，提高成像效果。

高光譜掃描型探測(cè)器用于視頻高光譜成像中，其分辨率高、帶外響應(yīng)低、雜散光少、成像效果好。制作方法簡(jiǎn)單，步驟少，制作失敗率低成品率高，基于鍍有截止濾光膜和像素級(jí)窄帶濾光膜的條形基板、不需要復(fù)雜的操作技術(shù)便能制作成像質(zhì)量更高的探測(cè)器，能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模的生產(chǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的多通道濾光片的輪廓圖