[發明專利]一種OLED面板、OLED面板的制備方法和顯示裝置

有效

• 申請號: 201911221510.0
• 申請日: 2019-12-03
• 公開（公告）號: CN110911586B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 盧青
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明公開了一種OLED面板、OLED面板的制備方法和顯示裝置。該OLED面板包括基板；發光器件陣列，位于所述基板上；薄膜封裝層，封裝所述發光器件陣列，所述薄膜封裝層包括至少一個有機薄膜層和至少一個無機薄膜層；至少一個所述有機薄膜層為含氧氟有機薄膜層。本發明提供的技術方案使用含氧氟有機薄膜層替換現有技術中的有機薄膜層，能夠提高薄膜封裝層的透光性，尤其能夠增加藍光波長段的透光性，使薄膜封裝層減少了對發光器件的透光損失。

技術領域

本發明實施例涉及OLED封裝技術領域，尤其涉及一種OLED面板、OLED面板的制備方法和顯示裝置。

背景技術

OLED器件中的光材料和電極對水汽和氧氣非常敏感，水氧的滲透會大大縮減OLED器件的壽命，為了達到商業化對于OLED器件的使用壽命和穩定性的要求，OLED器件對于封裝效果的要求非常高。因此，封裝在OLED面板制作中是非常重要的。

傳統封裝通常采用蓋板封裝技術，在封裝玻璃上涂敷可以紫外固化的框膠、或者涂敷框膠并填充干燥劑，框膠固化后可以為OLED器件提供一個相對密閉的環境，從而隔絕水氧進入。現有技術通常采用薄膜封裝技術對OLED器件進行封裝，實現柔性封裝。

但是現有技術中的薄膜封裝結構中的有機層的薄膜顏色偏黃，藍光透光性較差，由于OLED器件自身存在藍光的發光效率低的問題，在進行薄膜封裝后，經過有機層薄膜的削減，其藍光的透光性能大大降低。

發明內容

本發明提供一種OLED面板、OLED面板的制備方法和顯示裝置，以實現OLED器件經薄膜封裝后有效減小薄膜封裝層對藍光的削減，提高薄膜封裝層的藍光透光性。

第一方面，本發明實施例提供了一種OLED面板，包括：

基板；

發光器件陣列，位于所述基板上；

薄膜封裝層，封裝所述發光器件陣列，所述薄膜封裝層包括至少一個有機薄膜層和至少一個無機薄膜層；至少一個所述有機薄膜層為含氧氟有機薄膜層。

可選的，所述含氧氟有機薄膜為將氫氣、氧氣和氟碳氣體通過等離子體增強化學氣相沉積的方式形成的薄膜。

可選的，所述氟碳氣體包括CHF₃、C₃F₈、C₄F₁₀、C₂F₄和C₄F₈中的至少一種。

可選的，所述含氧氟有機薄膜層與所述發光器件陣列之間設置有至少一個所述無機薄膜層。

可選的，所述無機薄膜層包括氧化鋁薄膜或氮化硅薄膜。

可選的，所述無機薄膜層的厚度為30nm-200nm；

所述有機薄膜層的厚度為800nm-1600nm。

第二方面，本發明實施例還提供了一種OLED面板的制備方法，該OLED面板的制備方法包括：

提供基板；

在所述基板上形成發光器件陣列；

在所述發光器件陣列上形成薄膜封裝層，所述薄膜封裝層包括至少一個有機薄膜層和至少一個無機薄膜層；至少一個所述有機薄膜層為含氧氟有機薄膜層。

可選的，通過等離子體增強化學氣相沉積工藝沉積形成所述含氧氟有機薄膜層；

在等離子體增強化學氣相沉積設備內分別通入預設流量的氟碳氣體、氫氣和氧氣；

在射頻電源的作用下沉積形成所述含氧氟有機薄膜層。