[發明專利]一種OLED面板、OLED面板的制備方法和顯示裝置有效
| 申請號： | 201911221510.0 | 申請日： | 2019-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN110911586B | 公開（公告）日： | 2022-02-18 |
| 發明（設計）人： | 盧青 | 申請（專利權）人： | 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/52 | 分類號： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 oled 面板 制備 方法 顯示裝置 | ||
1.一種OLED面板，其特征在于，包括：
基板；
發光器件陣列，位于所述基板上；
薄膜封裝層，封裝所述發光器件陣列，所述薄膜封裝層包括至少一個有機薄膜層和至少一個無機薄膜層；至少一個所述有機薄膜層為含氧氟有機薄膜層；
其中，所述含氧氟有機薄膜為將氫氣、氧氣和氟碳氣體通過等離子體增強化學氣相沉積的方式形成的薄膜，用于增加藍光波長段的透光性。
2.根據權利要求1所述的OLED面板，其特征在于，所述氟碳氣體包括CHF3、C3F8、C4F10、C2F4和C4F8中的至少一種。
3.根據權利要求1所述的OLED面板，其特征在于，所述含氧氟有機薄膜層與所述發光器件陣列之間設置有至少一個所述無機薄膜層。
4.根據權利要求3所述的OLED面板，其特征在于，所述無機薄膜層包括氧化鋁薄膜或氮化硅薄膜。
5.根據權利要求1所述的OLED面板，其特征在于，所述無機薄膜層的厚度為30nm-200nm；
所述有機薄膜層的厚度為800nm-1600nm。
6.一種OLED面板的制備方法，其特征在于，包括：
提供基板；
在所述基板上形成發光器件陣列；
在所述發光器件陣列上形成薄膜封裝層，所述薄膜封裝層包括至少一個有機薄膜層和至少一個無機薄膜層；至少一個所述有機薄膜層為含氧氟有機薄膜層；其中，所述含氧氟有機薄膜為將氫氣、氧氣和氟碳氣體通過等離子體增強化學氣相沉積的方式形成的薄膜，用于增加藍光波長段的透光性。
7.根據權利要求6所述的OLED面板的制備方法，其特征在于，通過等離子體增強化學氣相沉積工藝沉積形成所述含氧氟有機薄膜層；
在等離子體增強化學氣相沉積設備內分別通入預設流量的氟碳氣體、氫氣和氧氣；
在射頻電源的作用下沉積形成所述含氧氟有機薄膜層。
8.根據權利要求7所述的OLED面板的制備方法，其特征在于，所述氟碳氣體的流量為80-120sccm，所述氫氣的流量為5-10sccm，所述氧氣的流量為5-10sccm。
9.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權利要求1-5任一項所述的OLED面板。
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H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
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H01L51-54 .. 材料選擇
