[發(fā)明專利]一種線寬量測方法和線寬量測機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911206960.2
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN110906867B
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐登基
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G02F1/13
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明實施例公開了一種線寬量測方法和線寬量測機。該方法包括：攝像組件采集被量測產(chǎn)品的視野圖像；截取視野圖像，得到被量測產(chǎn)品的第一量測圖像；根據(jù)第一量測圖像內(nèi)標(biāo)記物的偏差進行對位，截取第二量測圖像；根據(jù)第二量測圖像和預(yù)設(shè)圖像，計算圖像偏差；根據(jù)圖像偏差，截取第三量測圖像；其中，第三量測圖像包括被量測產(chǎn)品的量測部；根據(jù)量測部的圖像，量測計算量測部的線寬。本發(fā)明實施例解決了線寬量測機在自動量測過程中，被量測產(chǎn)品的線寬量測失敗的問題，提高了被量測產(chǎn)品的線寬量測的成功率，保證了被檢測產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實施例涉及顯示面板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種線寬量測方法和線寬量測機。

背景技術(shù)

隨著液晶顯示面板技術(shù)的發(fā)展，液晶面板廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品中，人們對產(chǎn)品精度的要求越來越高。在液晶顯示面板生產(chǎn)流程中，線寬對器件的性能有著舉足輕重的影響，因此線寬(Critical Dimension，CD)的檢測關(guān)系到產(chǎn)品的品質(zhì)。

線寬量測是一種用于檢測光刻和刻蝕是否達到設(shè)計要求的測量方法，目前常用的方法為設(shè)置CD測試標(biāo)的物(Mark)量測。陣列制程中，光刻制程生產(chǎn)過程中黃光后和蝕刻后都有需要量測線寬，為了提高量測速度目前常采用自動量測方法。

但是在自動量測的過程中，由于制程印刷異常、取像異常和外部環(huán)境變化等原因，會出現(xiàn)被量測的圖像超出視野或者拍攝不全的情況，影響了線寬量測的成功率從而影響產(chǎn)品生產(chǎn)的效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種線寬量測方法和線寬量測機，以提高線寬量測的成功率，節(jié)省量測時間，提高產(chǎn)品的產(chǎn)能。

第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種線寬量測方法，包括：

攝像組件采集被量測產(chǎn)品的視野圖像；

截取所述視野圖像，得到所述被量測產(chǎn)品的第一量測圖像；

根據(jù)所述第一量測圖像內(nèi)標(biāo)記物的偏差進行對位，截取第二量測圖像；

根據(jù)所述第二量測圖像和預(yù)設(shè)圖像，計算圖像偏差；

根據(jù)所述圖像偏差，截取第三量測圖像；其中，所述第三量測圖像包括所述被量測產(chǎn)品的量測部；

根據(jù)所述量測部的圖像，量測計算所述量測部的線寬。

可選的，所述第三量測圖像包括所述被量測產(chǎn)品的量測部，包括：

所述量測部位于所述第三量測圖像的中心。

可選的，在所述攝像組件采集被量測產(chǎn)品的視野圖像之前，還包括：

所述攝像組件和所述被量測產(chǎn)品進行對位，計算跑點偏差；

根據(jù)所述跑點偏差，攝像組件跑點到預(yù)設(shè)位置。

可選的，在得到所述被量測產(chǎn)品的第一量測圖像之后，還包括：

判斷所述第一量測圖像內(nèi)是否包括所述標(biāo)記物；若是，則執(zhí)行根據(jù)所述標(biāo)記物的偏差進行對位，截取第二量測圖像的步驟；否則，返回所述攝像組件和所述被量測產(chǎn)品進行對位的步驟。

可選的，在量測計算所述量測部的線寬之后，還包括：

判斷所述線寬量測部的線寬量測是否成功；若是，結(jié)束量測步驟；否則，返回根據(jù)所述標(biāo)記物的偏差進行對位，截取第二量測圖像的步驟。

可選的，所述被量測產(chǎn)品包括顯示面板母版，所述顯示面板母版包括多個顯示面板。

可選的，所述量測部包括：色阻圖案、金屬圖案和半導(dǎo)體圖案中的至少一種。第二方面，本發(fā)明實施例還提供了一種線寬量測機，包括攝像組件和控制器，其特征在于，所述控制器包括：

視野圖像獲取模塊，用于控制所述攝像組件采集被量測產(chǎn)品的視野圖像；