[發(fā)明專利]一種線寬量測(cè)方法和線寬量測(cè)機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911206960.2
• 申請(qǐng)日: 2019-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN110906867B
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐登基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G02F1/13
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種線寬量測(cè)方法，其特征在于，包括：

攝像組件采集被量測(cè)產(chǎn)品的視野圖像；

截取所述視野圖像，得到所述被量測(cè)產(chǎn)品的第一量測(cè)圖像；

根據(jù)所述第一量測(cè)圖像內(nèi)標(biāo)記物的偏差進(jìn)行對(duì)位，截取第二量測(cè)圖像；

根據(jù)所述第二量測(cè)圖像和預(yù)設(shè)圖像，計(jì)算圖像偏差；

根據(jù)所述圖像偏差，截取第三量測(cè)圖像；其中，所述第三量測(cè)圖像包括所述被量測(cè)產(chǎn)品的量測(cè)部；所述量測(cè)部位于所述第三量測(cè)圖像的中心；

根據(jù)所述量測(cè)部的圖像，量測(cè)計(jì)算所述量測(cè)部的線寬。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線寬量測(cè)方法，其特征在于，在所述攝像組件采集被量測(cè)產(chǎn)品的視野圖像之前，還包括：

所述攝像組件和所述被量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行對(duì)位，計(jì)算跑點(diǎn)偏差；

根據(jù)所述跑點(diǎn)偏差，攝像組件跑點(diǎn)到預(yù)設(shè)位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線寬量測(cè)方法，其特征在于，在得到所述被量測(cè)產(chǎn)品的第一量測(cè)圖像之后，還包括：

判斷所述第一量測(cè)圖像內(nèi)是否包括所述標(biāo)記物；若是，則執(zhí)行根據(jù)所述標(biāo)記物的偏差進(jìn)行對(duì)位，截取第二量測(cè)圖像的步驟；否則，返回所述攝像組件和所述被量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行對(duì)位的步驟。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線寬量測(cè)方法，其特征在于，在量測(cè)計(jì)算所述量測(cè)部的線寬之后，還包括：

判斷所述線寬量測(cè)部的線寬量測(cè)是否成功；若是，結(jié)束量測(cè)步驟；否則，返回根據(jù)所述標(biāo)記物的偏差進(jìn)行對(duì)位，截取第二量測(cè)圖像的步驟。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線寬量測(cè)方法，其特征在于，所述被量測(cè)產(chǎn)品包括顯示面板母版，所述顯示面板母版包括多個(gè)顯示面板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線寬量測(cè)方法，其特征在于，所述量測(cè)部包括：色阻圖案、金屬圖案和半導(dǎo)體圖案中的至少一種。

7.一種線寬量測(cè)機(jī)，包括攝像組件和控制器，其特征在于，所述控制器包括：

視野圖像獲取模塊，用于控制所述攝像組件采集被量測(cè)產(chǎn)品的視野圖像；

第一量測(cè)圖像獲取模塊，用于截取所述視野圖像，得到所述被量測(cè)產(chǎn)品的第一量測(cè)圖像；

第二量測(cè)圖像獲取模塊，用于根據(jù)所述第一量測(cè)圖像內(nèi)標(biāo)記物的偏差進(jìn)行對(duì)位，截取第二量測(cè)圖像；

圖像偏差獲取模塊，用于根據(jù)所述第二量測(cè)圖像和預(yù)設(shè)圖像，計(jì)算圖像偏差；

第三量測(cè)圖像獲取模塊，用于根據(jù)所述圖像偏差，截取第三量測(cè)圖像；其中，所述第三量測(cè)圖像包括所述被量測(cè)產(chǎn)品的量測(cè)部；所述量測(cè)部位于所述第三量測(cè)圖像的中心；

線寬計(jì)算模塊，用于根據(jù)所述量測(cè)部的圖像，量測(cè)計(jì)算所述量測(cè)部的線寬。